13.9nm光柵分束器及相關(guān)問題研究

1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文13.9nm光柵分束器及相關(guān)問題研究姓名：譚鑫申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專業(yè)：同步輻射及應(yīng)用指導(dǎo)教師：付紹軍20080501中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博上學(xué)位論文 摘要制作在同一基底上的，其從根本上解決了光柵拼接過程中的問題。作者結(jié)合該干涉系統(tǒng)對(duì)工作光柵與調(diào)整光柵的要求，對(duì)雙頻調(diào)整光柵的線密度進(jìn)行了設(shè)計(jì)，并且在理論上推導(dǎo)了雙頻光柵在制作過程中的誤差：對(duì)雙頻調(diào)整光柵用于該干涉系統(tǒng)預(yù)調(diào)整可能產(chǎn)生的誤差進(jìn)行了定量的分析，確定了雙頻調(diào)

2、整光柵的可行性。作者結(jié)合雙頻調(diào)整光柵制作過程的誤差分析在制作過程中對(duì)其進(jìn)行有效的控制，實(shí)現(xiàn)了在同一基底上同時(shí)制作雙頻調(diào)整光柵與工作光柵光刻膠掩模。最后，對(duì)其線密度，線密度關(guān)系，雙頻光柵線條平行度這三個(gè)對(duì)干涉系統(tǒng)調(diào)整精度有顯著影響的參數(shù)進(jìn)行了實(shí)際測(cè)量。其中，雙頻光柵線條平行度測(cè)量系統(tǒng)是作者自行搭建的一套高精度平行度測(cè)量系統(tǒng)，具有很高的擴(kuò)展性。測(cè)量結(jié)果表明所制作的雙頻調(diào)整光柵的各項(xiàng)參數(shù)與設(shè)計(jì)相吻合，用于該干涉系統(tǒng)預(yù)調(diào)整將獲得較高的預(yù)調(diào)整精度

3、。二． X 射線激光L 鋤i n a r 分合束光柵的研制基于衍射光柵的X 射線干涉系統(tǒng)的核心部件就是分合束光柵，他是最近興起的等離子體診斷技術(shù)的核心部件。鑒于干涉系統(tǒng)的特殊要求，其O 級(jí)與1 級(jí)衍射光構(gòu)成了干涉系統(tǒng)的兩臂，且0 級(jí)與l 級(jí)衍射效率也要盡量接近，故其0 級(jí)與l級(jí)的衍射效率是分合束光柵的重要參數(shù)。由于其特殊要求，必須先對(duì)其進(jìn)行槽型的選擇和設(shè)計(jì)而后進(jìn)行制作研究工作。作者通過計(jì)算對(duì)比了在波長l 3 ．9 m 的X 射線激光入射

4、情況下的閃耀槽型光柵、正弦槽型光柵和L a m i n a r 槽型光柵的0 級(jí)與l 級(jí)衍射效率，且結(jié)合制作工藝確定了制作L a m i n a u r 槽型光柵作為X 射線分合束光柵。L a m i n a r 光柵不但能夠獲得較高的O 級(jí)與1 級(jí)衍射效率且制作過程相對(duì)簡(jiǎn)單，參數(shù)控制相對(duì)容易。而后，對(duì)L a m i n a r 工作光柵的線密度等槽型參數(shù)進(jìn)行了理論設(shè)計(jì)得到了最優(yōu)化的槽型參數(shù)。作者在獲得最優(yōu)槽型參數(shù)后，使用全息曝光一離子