冷凝泵機械結(jié)構(gòu)及工作原理

1、冷凝泵機械結(jié)構(gòu)及工作原理冷凝泵機械結(jié)構(gòu)及工作原理一、簡介一、簡介冷凝泵工作原理是通過冷凝或者俘獲分子來實現(xiàn)真空。它由一些低溫的表面（193oC255）來冷凝氣體分子。另外，冷凝泵也通過帶有活性炭的表面吸收不能被冷凍的氣體分子。一.冷凝泵機械結(jié)構(gòu)冷凝泵機械結(jié)構(gòu)1.壓縮機壓縮機將氦氣壓縮之后送到冷凍機里2.冷凍機冷凍機使被壓縮的氦氣在冷凍機里膨脹，冷卻作用3.泵殼泵殼泵體內(nèi)（擋板處）將氣體凝固，使氣體被吸空獲得真空上述的三個系統(tǒng)組成一個整體

2、的冷凝泵系統(tǒng)運轉(zhuǎn)。四、溫度計結(jié)構(gòu)：1.H2蒸汽壓溫度計2.半導(dǎo)體溫度計五一級冷頭材料:無氧銅溫度:70～100K通常80K功用；用來凝縮水蒸汽。六二級冷頭材料:無氧銅溫度:10～20K通常15～20K功用：主要用來凝縮N2、O2、Ar、CO2等飽和蒸汽壓高的氣體。七冷凍機目前冷凝泵中所使用的冷凍機有以下三種形式。①GM循環(huán)冷凍機:最早被用于冷凝泵中的小型極低溫冷凍機它是根據(jù)Giffd和Mcmahon而發(fā)明研制具有很高可靠性、極低溫度的冷

3、凍機。如今也使用的很廣泛。②ModifiedSolvay循環(huán)冷凍機:嚴格地說在熱力學(xué)上與GM循環(huán)不一樣但在實際上也可以看作是用在氣壓驅(qū)動機構(gòu)上的GM循環(huán)冷凍機。③Sterling循環(huán)冷凍機:是容壓縮和膨脹為一體的冷凍機在冷凝泵中一般作為最大型機種來使用但目前基本上不使用。八黃色連桿材料:黃色夾布膠木。九蓄冷器一級蓄冷器材料:黃銅網(wǎng)二級蓄冷器材料:鉛丸。其作用為:①當(dāng)活塞桿往上死點運動中(膨脹室容積逐漸增大)高壓進氣閥打開蓄冷器冷卻進入膨