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1、全光譜反射式膜厚量測儀考核記錄表全光譜反射式膜厚量測儀考核記錄表(Reflectometer)姓名:姓名:學(xué)校系所:學(xué)校系所:日期:日期:學(xué)號:學(xué)號:以上題目是為保護機臺並讓使用者正常操作機臺而設(shè)計,成績80分以上及格。1.使用前機臺檢查,包括:(a)24V直流電源開關(guān)、(b)工業(yè)電腦、(c)光源、(d)光譜儀、(e)指示牌、(f)stage位置。請詳細說明機臺狀況。(每項4分,共24分)2.機臺何時需要重新初始化(8分)如何進行初始化
2、校正(8分)3.樣品量測(共35分)(a)選擇量測軟體。(b)試片放置[正確位置及動作(輕關(guān)拉門、不碰撞機臺)]。(c)量測前設(shè)定。(d)執(zhí)行Measurement。(f)繼續(xù)量測其它試片時,是否仍需要進行(c)。(f)量測結(jié)果是否fitness、樣品厚度。(e)量測完畢之檔案儲存。4.實驗結(jié)束後,注意事項(a)樣品、(b)量測軟體、(c)分析軟體、(d)刷卡機、(e)指示牌、(f)使用記錄表。(15分)5.緊急異常狀況之處理,(a)分
3、析軟體、(b)光源及光譜儀、(c)中心毒氣或火災(zāi)警報時處置。(10分)考試時間::~:評分考核員簽名:修訂日期:107年6月11日全光譜反射式膜厚量測儀考核記錄表全光譜反射式膜厚量測儀考核記錄表(Reflectometer)姓名:姓名:學(xué)校系所:學(xué)校系所:日期:日期:學(xué)號:學(xué)號:以上題目是為保護機臺並讓使用者正常操作機臺而設(shè)計,成績80分以上及格。1.使用前機臺檢查,包括:(a)24V直流電源開關(guān)、(b)工業(yè)電腦、(c)光源、(d)光譜
4、儀、(e)指示牌、(f)stage位置。請詳細說明機臺狀況。(每項4分,共24分)2.機臺何時需要重新初始化(8分)如何進行初始化校正(8分)3.樣品量測(共35分)(a)選擇量測軟體。(b)試片放置[正確位置及動作(輕關(guān)拉門、不碰撞機臺)]。(c)量測前設(shè)定。(d)執(zhí)行Measurement。(f)繼續(xù)量測其它試片時,是否仍需要進行(c)。(f)量測結(jié)果是否fitness、樣品厚度。(e)量測完畢之檔案儲存。4.實驗結(jié)束後,注意事項(
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