反射式光柵復(fù)制方法研究與開發(fā).pdf

1、本課題以1200線反射式光柵為例進(jìn)行反射式光柵復(fù)制方法的研究和開發(fā),使得復(fù)制光柵具有接近母板的性能,又降低光柵制作成本取得價(jià)格優(yōu)勢(shì)。本文圍繞反射式光柵復(fù)制方法進(jìn)行理論研究與工藝開發(fā),主要包含以下幾個(gè)方面內(nèi)容:
　　首先,介紹光柵的分類及應(yīng)用,對(duì)光柵的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行分析,闡明進(jìn)行反射式光柵復(fù)制方法的研究與開發(fā)的重要意義。
　　其次,對(duì)光柵衍射理論進(jìn)行分析,介紹母板光柵的制作方法和工藝,采用全息刻蝕方法制得母板光柵進(jìn)行復(fù)制。

2、
　　再次,采用理論和實(shí)際相結(jié)合的方式開展研究,根據(jù)光柵結(jié)構(gòu)對(duì)光柵性能的影響,以及國內(nèi)外文獻(xiàn)對(duì)光柵復(fù)制方法的研究,通過對(duì)比分析各種方法的優(yōu)缺點(diǎn),用軟件模擬分析微觀變化的影響大小,開展光柵復(fù)制方法的研究和開發(fā),通過實(shí)驗(yàn)確定制作方法和工藝參數(shù),解決技術(shù)難點(diǎn),研究和開發(fā)出高質(zhì)量、低成本的反射式光柵復(fù)制方法。
　　經(jīng)過復(fù)制得到的光柵,用掃描電鏡和原子粒顯微鏡進(jìn)行形貌測試,復(fù)制品與母板光柵具有相同的形貌。應(yīng)用衍射效率測試臺(tái)測試的結(jié)果也