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1、反射式金屬光柵是指在金屬基板上制作出的高反射率線條(作為光柵亮條紋)和低反射率線條(作為光柵暗條紋),金屬基板相對(duì)于玻璃基板來(lái)說(shuō)存在許多優(yōu)點(diǎn),如:金屬抗沖擊能力強(qiáng)、抗輻射能力強(qiáng);但同時(shí)也存在一些缺點(diǎn),如:金屬基板加工困難、金屬光柵膜系較復(fù)雜、金屬光柵復(fù)制較困難等。
本文對(duì)反射式金屬光柵工藝流程進(jìn)行了較深入的研究,并從關(guān)鍵單元工藝技術(shù)研究著手進(jìn)行了反射式金屬光柵工藝參數(shù)探索試驗(yàn),得出了一整套復(fù)制反射式金屬光柵盤(pán)的工藝參數(shù),根據(jù)這
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