電極絲換向條紋的減弱和消除

1、電極絲換向條紋的減弱和消除高速走絲換向條紋的產(chǎn)生主要原因是切縫里冷卻狀態(tài)不均勻所致，換句話說(shuō)就是凡是可以改善切縫里冷卻狀態(tài)的措施都可以減少條紋的產(chǎn)生，如果僅僅鉬絲短而頻繁換向來(lái)掩蓋條紋就會(huì)大大降低生產(chǎn)率，是一種視覺(jué)的感受，實(shí)際并沒(méi)有解決問(wèn)題。解決問(wèn)題的辦法有：增加冷卻液的濃度來(lái)提高洗滌性；增加脈沖間隔來(lái)使液體盡量多的被帶入；適當(dāng)增加脈沖寬度，主要是建設(shè)波形的奇變，調(diào)整好跟蹤等，但最主要的辦法是選擇好工作液，我試驗(yàn)過(guò)多種工作液，凡是切割面

2、呈現(xiàn)油性的液體說(shuō)明表面得到較好的冷卻，而其中以南光－1混DX1和佳潤(rùn)系列產(chǎn)品最為明顯，此外DX4也還可以，但表面有發(fā)黃的現(xiàn)象，大家可以使用一下。當(dāng)然最好的情況是在切割Cr12料時(shí)，幾乎沒(méi)有換向紋。碳化硅微粉是最主要的用于多線切割機(jī)上的磨料之一，適合于切割比較硬而且脆的材料。線切割是由導(dǎo)輪帶動(dòng)細(xì)鋼線高速運(yùn)轉(zhuǎn)，由鋼線帶動(dòng)砂漿形成研磨的切割方式。在線切割機(jī)的切割過(guò)程中，懸浮液夾裹著碳化硅磨料噴落在細(xì)鋼線組成的線網(wǎng)上，依賴于細(xì)鋼線的高速運(yùn)動(dòng)，把

3、研磨液運(yùn)送到切割區(qū)，對(duì)緊壓在線網(wǎng)上的工件進(jìn)行研磨式切割，隨著碳化硅磨料對(duì)工件的一次次刻劃，逐漸把多余的材料帶走，是一種類似于研磨的切削方法，這種機(jī)制也被稱為：自由研磨切割加工。切削的主要因素由懸浮液以及碳化硅組成的砂漿中碳化硅的切割能力、鋼線的張力、鋼線運(yùn)行速度和工件進(jìn)給速度是影響刻劃的主要因素。鋼線的高速運(yùn)動(dòng)促使懸浮液攜帶著帶有棱角的碳化硅顆粒以不斷滾動(dòng)的方式進(jìn)入切割區(qū)，從而產(chǎn)生很強(qiáng)切削能力，由于鋼線上加有一定的張力，使碳化硅磨料一般

4、只沿鋼線運(yùn)動(dòng)的方向逐漸對(duì)工件進(jìn)行一次次切削，使工件沿細(xì)鋼線的縫隙被切成一個(gè)個(gè)薄片，碳化硅磨料對(duì)細(xì)鋼線側(cè)向影響很小，所以薄片表面并看不到切割痕跡。機(jī)械參數(shù)對(duì)晶片切割的影響控制晶片質(zhì)量的四個(gè)重要參數(shù)：鋼線的張力、鋼線的運(yùn)動(dòng)速度、工件的進(jìn)給速度、砂漿切割能力。（1.）鋼線的張力鋼線張力的產(chǎn)生機(jī)構(gòu)是由兩條帶有力矩馬達(dá)或配重的兩條張力臂組成的，是一個(gè)由PLC控制反饋系統(tǒng)，以便適當(dāng)?shù)乜刂其摼€的張力。一般鋼線的張力對(duì)切割的影響主要有一下3種形式：①如

5、果鋼線的張力過(guò)小，將會(huì)導(dǎo)致鋼線彎曲度增大，既線弓過(guò)大，鋼線對(duì)晶棒產(chǎn)生的壓力減少，切割效率下降。同時(shí)鋼線擺動(dòng)幅度增大，工件的厚度變化加劇，線痕片增多，晶片變的參差不齊。②如果鋼線張力過(guò)大，鋼線的斷線幾率會(huì)大大增加。而且鋼線攜帶的碳化硅顆粒會(huì)難以進(jìn)入鋸縫，造成硅片質(zhì)量下降或切割效率降低。③張力系統(tǒng)使用一段時(shí)間以后，很容易造成零點(diǎn)偏移，使鋼線張力變化過(guò)大，這樣一是容易造成斷線，二是晶片質(zhì)量難以保證，要及時(shí)校正。（3）盡可能采用先進(jìn)先出的原則用

6、料，避免原料因存放時(shí)間過(guò)長(zhǎng)而結(jié)團(tuán)。（4）如果在運(yùn)輸途中有破損包裝，最好單獨(dú)存放，避免粉塵污染（5）建議倉(cāng)庫(kù)最好封閉，單獨(dú)存放。2、在使用過(guò)程中要防止二次污染：（1）投料環(huán)境盡可能為密封的，這樣不易隨空氣流動(dòng)落入大的顆粒物。（2）爛包裝的碳化硅微粉盡量不使用，爛包裝后可能已經(jīng)混入雜質(zhì)，影響切割效果。（3）料漿使用中應(yīng)控制好使用工具，防止交叉使用污染。（4）備投料漿避免存放時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，如果過(guò)長(zhǎng)會(huì)產(chǎn)生團(tuán)結(jié)物，也會(huì)形成假性顆粒，可能會(huì)給線切割帶來(lái)

7、影響。一、針對(duì)各公司普遍認(rèn)為的切割質(zhì)量和料漿的關(guān)系問(wèn)題，結(jié)合碳化硅微粉的固有特性，談一下料漿的配制：1.碳化硅微粉在包裝、運(yùn)輸、存放過(guò)程中容易擠壓結(jié)團(tuán)；這要求工人在配制沙漿倒料過(guò)程中要特別注意：倒料時(shí)應(yīng)慢倒，控制在2.55分鐘一袋，避免猛倒造成微粉沉底結(jié)塊攪拌不起來(lái)造成與實(shí)際配比不一致，而影響切割。2.碳化硅微粉具有較強(qiáng)吸濕性，在空氣中極容易受潮結(jié)團(tuán)，分散性降低，使料漿的粘度降低，同時(shí)在料漿中形成假性顆粒物和團(tuán)積物，造成切割效率和切割質(zhì)

8、量下降。因此應(yīng)避免微粉裸漏在空氣中時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。3.倒料時(shí)要求操作工：①檢查料袋有無(wú)破損，如有破損一定要單獨(dú)存放不要再使用；②投料前先把袋口、袋子表面的浮沙打掉，避免倒料帶入雜物。4.在環(huán)境濕度較大的地區(qū)，使用碳化硅以前，最好是放在60—80度烘箱里，烘烤8小時(shí)以上，來(lái)優(yōu)化碳化硅微粉的各項(xiàng)指標(biāo)。這樣的好處：①增強(qiáng)了碳化硅微粉分子活性；②與切削液有了更強(qiáng)的適配性；③粉體顆粒吸附性更強(qiáng)，使鋼線帶砂漿量增大，增強(qiáng)切削能力；④微粉有了更好的流動(dòng)性和