1.刻蝕間培訓(xùn)材料

1、尚能電池制造部刻蝕間培訓(xùn)材料SOP標準作業(yè)（1）拿硅片承載盒打開傳遞窗，兩只手同時拿住承載盒，輕輕的放在硅片臺上。（2）打開硅片盒打開硅片盒時，順著承載盒的邊緣往后推。（3）拿到上料臺在拿的過程要雙手捧?。ㄒ恢皇帜米∵吙颍恢皇滞芯o盒子）。（4）上片在上片時一定要注意擴散面與未擴散面，放時要擴散面向上在上片時一定要注意擴散面與未擴散面，放時要擴散面向上并且放時要與滾軸相平正，片與片之間的距離要大小一致（保持在5cm左右）放片時要輕，盡量

2、地減低硅片與滾軸的高度距離，硅片不要放在上料臺滾軸的邊緣，要往里放。（5）裝片裝片時的動作要輕，裝片時要注意承載盒的開口方向，不要將擴散面裝反，并確認好數(shù)量。（6）放入推車放入推車時只準一只手拿一個承載盒，放時要放穩(wěn)一只推車只準放十二盒。（7）往PECVD送片。往PECVD送片時，推車要沿著指定的通道走，走時避免與人與物體相撞，雙手扶住推車把，推入PECVD時要放入指定地點。（8）所有的作業(yè)，必須在戴汗布手套外再戴一層乳膠手套。電柜：電

3、源控制、信號輸出（PCA西門子）電腦操作臺：手動、自動模式、服務(wù)系統(tǒng)、工藝文件、報警、操作界面、各種感應(yīng)、閥門、氣動閥、液位的顯示圖壓力檢測：壓縮空氣、氮氣尚能電池制造部刻蝕間培訓(xùn)材料自動加液處化學(xué)品更換SOP標準作業(yè)（1）更換化學(xué)品時，必須佩戴防毒面具，防酸耐堿服、防酸手套、戴防酸手套時，手上必須再戴兩層乳膠手套，腳上要穿防酸防堿的鞋。（2）在將化學(xué)桶放置在加液處時，必須先檢查化學(xué)桶是否有滲漏的現(xiàn)象。（3）用叉車叉時車子一定要叉到位，