項(xiàng)目狀態(tài)

1、2024/3/10,現(xiàn)代光學(xué)前沿新興分支學(xué)科 ——二元光學(xué)技術(shù)與應(yīng)用,徐 平深圳大學(xué)光電子技術(shù)工程系E-mail: xuping@szu.edu.cnTel.6557246,2024/3/10,主要內(nèi)容：,1.二元光學(xué)概述（含義發(fā)展背景,國(guó)內(nèi) 外發(fā)展?fàn)顩r,特點(diǎn)） 2. 二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法3. 二元光學(xué)元件的制作方法4. 二元光學(xué)元件的應(yīng)用（重點(diǎn)介紹）5．深蝕刻二元光學(xué)元件6. 結(jié)束語(yǔ),2024/3

2、/10,1.二元光學(xué)概述,傳統(tǒng)光學(xué)基于光波的折射和反射原理，利用透鏡、反射鏡和棱鏡等元件進(jìn)行設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)各種光學(xué)功能。衍射效應(yīng)總是導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)的分辨率受到限制，除了光波的色散性質(zhì)可應(yīng)用于光譜學(xué)之外，傳統(tǒng)光學(xué)總是盡量的避免衍射效應(yīng)造成的不利影響。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,六十年代，隨著計(jì)算機(jī)制全息圖以及相息圖的發(fā)明和成功的制作，引起了觀念上的重大變革。 人們認(rèn)識(shí)到應(yīng)用這些新型的衍射光學(xué)元件，可方便靈活

3、的控制光路以實(shí)現(xiàn)多種光學(xué)功能，開(kāi)辟光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的新天地。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,七十年代，在可見(jiàn)光和近紅外光波段內(nèi)制作具有高衍效的超精細(xì)結(jié)構(gòu)元件仍面臨困難，因而限制了這些元件的應(yīng)用范圍。 與此同時(shí)，微電子工業(yè)在制作技術(shù)方面也經(jīng)歷了一場(chǎng)革命，光學(xué)和電子束制版以及干刻蝕技術(shù)逐漸發(fā)展成熟，已成為制作精細(xì)結(jié)構(gòu)元件的完善工具。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,八十年代，各種新型的加工制作方法不斷涌現(xiàn)，

4、能夠制作高質(zhì)量和多功能的衍射光學(xué)元件。 隨著元件尺寸的縮小，其精細(xì)結(jié)構(gòu)周期可與波長(zhǎng)相比較時(shí)， 傳統(tǒng)的衍射標(biāo)量理論不再適用，促使了衍射矢量理論的發(fā)展，極大地推動(dòng)了衍射光學(xué)的發(fā)展。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,近年來(lái)， 更高級(jí)的設(shè)備 先進(jìn)的制作技術(shù) 正確有效的理論模型 設(shè)計(jì)衍射光學(xué)元件的各種方法 由此一門(mén)新興

5、的光學(xué)分支——衍射光學(xué)應(yīng)運(yùn)而生，并已成為二十一世紀(jì)光學(xué)中的前沿研究領(lǐng)域之一。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,1984年，在美國(guó)國(guó)防部及空軍的支持下，啟動(dòng)了一個(gè)名叫“二元光學(xué)” (binary optics) 的項(xiàng)目，極大地推動(dòng)了衍射光學(xué)的發(fā)展。 此后，衍射光學(xué)的研究日益活躍。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,從1990年起，美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)年會(huì)和國(guó)際光學(xué)工程協(xié)會(huì)設(shè)有衍射光學(xué)與二元光學(xué)專(zhuān)題講座和衍射光學(xué)專(zhuān)題

6、會(huì)議；美國(guó)和歐洲的重要光學(xué)雜志分別出版衍射光學(xué)專(zhuān)集。 作為一個(gè)新學(xué)科領(lǐng)域已經(jīng)形成,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,1992年5月美國(guó)商業(yè)性雜志“ Photonics”刊登一篇專(zhuān)題文章：“衍射光學(xué)大量產(chǎn)生新一代的產(chǎn)品和擁有數(shù)百萬(wàn)美元的市場(chǎng)” 表明：衍射光學(xué)產(chǎn)業(yè)正在形成,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,二元光學(xué)：是衍射光學(xué)的主要分支學(xué)科，是研究微米、亞微米級(jí)特征尺寸光學(xué)元件的設(shè)計(jì)、

7、微細(xì)加工技術(shù)及利用該元件以實(shí)現(xiàn)光束的發(fā)射、聚焦、傳輸、成象、分光、圖象處理、光計(jì)算等一系列功能的理論和技術(shù)的學(xué)科，是光學(xué)與微電子、微計(jì)算機(jī)相互融合、滲透而形成的前沿交叉學(xué)科。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,二元光學(xué)技術(shù) 是利用計(jì)算全息方法與大規(guī)模集成電路技術(shù)和微細(xì)加工技術(shù)相結(jié)合，從而在任意片基材料上制作出位相深度為 的多臺(tái)階微浮雕結(jié)構(gòu)的衍射微光學(xué)元件， 是一門(mén)新興

8、的前沿交叉綜合學(xué)科和高技術(shù)。,2024/3/10,1.二元光學(xué)概述,二元光學(xué)元件特點(diǎn) 以光的衍射為基本原理，具有微型化、輕型化、可復(fù)制、價(jià)格低、可設(shè)計(jì)產(chǎn)生任意形狀的波前、 可把多種功能集中于一個(gè)器件上等其他器件不可比擬的特點(diǎn)。 發(fā)展迅猛，成為二十一世紀(jì)的前沿學(xué)科。,2024/3/10,2. 二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法,二元光學(xué)元件示意圖,2024/3/10,2. 二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法,2024/

9、3/10,2. 二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法,2024/3/10,2.二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法,,2024/3/10,2. 二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法,二元光學(xué)元件的設(shè)計(jì)步驟： (1) 編碼過(guò)程 將原先振幅分布中所攜帶的信息，盡可能多的編碼到相位分布中去。 在這個(gè)過(guò)程中將會(huì)引進(jìn)編碼噪聲 (2) 量化處理 對(duì)連續(xù)分布的相位進(jìn)行分級(jí)量化處理。此時(shí)又會(huì)引起位相量化噪聲。 主要有：G-S算法、Y-G算法及SA(Sim

10、ulation Annealing)算法。,2024/3/10,3. 二元光學(xué)元件的制作方法,2024/3/10,3. 二元光學(xué)元件的制作方法,,2024/3/10,4. 二元光學(xué)元件的應(yīng)用,衍射光學(xué)元件以其能夠靈活的變換波前、集多種功能于一體和可復(fù)制等優(yōu)良特性，促使光學(xué)系統(tǒng)和器件走向輕型化、微型化和集成化。這種新型的光學(xué)元件的應(yīng)用極為廣泛。,2024/3/10,4. 二元光學(xué)元件的應(yīng)用,微小光學(xué)系統(tǒng)中的微型元件光學(xué)及神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計(jì)算、光

11、學(xué)平行處理系統(tǒng)中的光互連元件寬場(chǎng)及紅外成象系統(tǒng)中的元件光學(xué)濾波和材料加工系統(tǒng)中的衍射元件抗反射和偏振態(tài)控制的亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)光束整型、光束列陣發(fā)生器、微型光通信,2024/3/10,4. 二元光學(xué)元件的應(yīng)用,外科醫(yī)療儀器中的雙聚焦內(nèi)窺透鏡光盤(pán)讀出頭的 NEC 衍射元件能矯正色差畸變的 Redimax 熱聚焦透鏡用于材料加工的高效能系列長(zhǎng)壽命的CO2聚焦透鏡。,2024/3/10,4.1 光束整形與勻化,CO2 激光在材料加

12、工中的用途之一，是用于材料的表面熱處理。為了使材料表面各點(diǎn)升溫均勻，需要一種光束整形元件，將高斯型強(qiáng)度分布的激光束轉(zhuǎn)換成平臺(tái)型強(qiáng)度分布。 傳統(tǒng)的折射光學(xué)元件唯一有效途徑是：制作特殊的折射元件，其表面是由對(duì)光束起不同響應(yīng)作用的許多子區(qū)域組成。這樣的元件既復(fù)雜又不切合實(shí)際。,2024/3/10,4.1 光束整形與勻化,應(yīng)用二元光學(xué)方法： 單個(gè)的衍射光學(xué)元件便能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)入射高斯激光束的相位調(diào)制、強(qiáng)度變

13、換和聚焦。 利用這種衍射型光束整形器處理后的CO2激光光束，可以進(jìn)行高效而均勻的表面熱處理。,2024/3/10,4.1 光束整形與勻化,高斯光束轉(zhuǎn)化為平臺(tái)光束示意圖(見(jiàn)下頁(yè)),2024/3/10,4.1 光束整形與勻化,2024/3/10,4.2 像差較正 ——He-Ne激光聚焦校正器,醫(yī)療儀器中長(zhǎng)期懸而未決的難題：如何將CO2“刀光束”與指示照明用的He-Ne 激光束聚焦到同一平面上。通常使用的

14、 ZnSe (硒化鋅) 透鏡在He-Ne 激光器輸出波長(zhǎng)比在CO2 激光器輸出波長(zhǎng)上更高的折射率，使得 He-Ne 激光照明光束聚焦位置更靠近透鏡而遠(yuǎn)離CO2激光照明光束聚焦點(diǎn)。所有現(xiàn)存的傳統(tǒng)光學(xué)的解決辦法，也都會(huì)帶來(lái)新的問(wèn)題。,2024/3/10,4.2 像差較正 ——He-Ne激光聚焦校正器,2024/3/10,4.2 像差較正 ——He-Ne激光聚焦校正器,衍射光學(xué)技術(shù)提供了直接巧妙的解決辦法：

15、 在聚焦透鏡表面刻蝕出起負(fù)透鏡作用的衍射溝槽，使得He-Ne可見(jiàn)光束聚焦點(diǎn)拉遠(yuǎn)而對(duì)長(zhǎng)波段的CO2紅外激光束不起作用， 從而使CO2“刀光束”和 He-Ne“照明光束”很好的聚焦于同一點(diǎn),2024/3/10,4.2 像差較正 ——He-Ne激光聚焦校正器,2024/3/10,4.2 像差較正 ——白內(nèi)障病人眼球晶狀體替代元件,3M公司的工作人員已對(duì)患白內(nèi)障病人設(shè)計(jì)了替換眼球晶狀體的元件，但此種手術(shù)通常使用的是普通

16、透鏡，它們只能使病人看見(jiàn)較近或較遠(yuǎn)的物體。,2024/3/10,4.2 像差較正 ——白內(nèi)障病人眼球晶狀體替代元件,為解決這個(gè)問(wèn)題，3M 公司傳感器物理學(xué)家 J.Futhey 等在普通透鏡表面刻蝕二元光學(xué)元件，當(dāng)光入射人眼時(shí)，二元光學(xué)元件約把一半光線聚焦到視網(wǎng)膜表面，另一半聚焦到視網(wǎng)膜內(nèi)。眼睛和大腦能把注意力集中在某個(gè)焦點(diǎn)而忽視另一個(gè)焦點(diǎn)，從而提供遠(yuǎn)近圖象。用這種方法，二元光學(xué)透鏡現(xiàn)已植入 50 多個(gè)國(guó)家的幾千名病人的眼中。,2

17、024/3/10,4.2 像差較正 ——折衍混合消色差,利用折射和衍射正好相反的色散特點(diǎn)，將二元光學(xué)技術(shù)用在折衍混合系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，消除系統(tǒng)色差(如下圖所示)。,2024/3/10,4.2 像差較正 ——折衍混合消色差,2024/3/10,4.3 消反射與導(dǎo)膜共振濾波 ——消反射的衍射元件,為了抑制光學(xué)表面的菲涅爾反射，通常采用鍍膜方法，即在光學(xué)表面鍍一層具有梯度射射率的薄膜，使得兩種介質(zhì)界面的光學(xué)性質(zhì)近似的連續(xù)變化，

18、從而獲得極低的反射率。由于鍍膜中常用的化學(xué)萃取和共蒸發(fā)方法都要用到各向異性材料，因而不可避免的帶來(lái)熱學(xué)和力學(xué)性能不均勻等問(wèn)題，使得高質(zhì)量鍍膜難以成功的制作 。,2024/3/10,4.3 消反射與導(dǎo)膜共振濾波 ——消反射的衍射元件,二元光學(xué)解決途徑：在衍射光學(xué)元件表面刻蝕高空間頻率的連續(xù)位相光柵結(jié)構(gòu)。由于光柵的空間周期極小，使得只有零級(jí)衍射光在入射介質(zhì)和襯底中傳播，如同處于折射率呈梯度分布的有效介質(zhì)中一樣，從而達(dá)到消反射的功效

19、。 通過(guò)合理的匹配光柵周期，選擇入射光波長(zhǎng)等參數(shù)來(lái)設(shè)計(jì)消反射結(jié)構(gòu)元件，可以獲得在寬波段和廣角度范圍內(nèi)極低的反射率，從而有效地抑制光學(xué)表面的菲涅爾反射。,2024/3/10,4.3 消反射與導(dǎo)膜共振濾波 ——導(dǎo)膜共振濾波器,平面電介質(zhì)波導(dǎo)光柵具有導(dǎo)膜共振特性，已在光電開(kāi)關(guān)、光折變可調(diào)諧濾波器、窄線寬偏振激光等方面獲得實(shí)際的應(yīng)用： 任意控制并壓窄線寬的不變或可調(diào)諧的光譜濾波器高效的低能開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換元件集成光學(xué)中窄波段光譜選擇反射鏡體

20、光學(xué)系統(tǒng)中激光線寬壓窄高精度傳感器,2024/3/10,4.4 光互連,光學(xué)互連元件是將一束激光分裂成一維或二維光束列陣的衍射光學(xué)元件。選擇不同的元件參數(shù)即互連程度 (與激光源相連的探測(cè)器數(shù)目) 和劈裂比(各劈裂開(kāi)光束之間的相對(duì)能量比)，可設(shè)計(jì)出不同功能的光互連元件。通常有形成均勻強(qiáng)度分布的光互連元件(例如，多光束發(fā)生器、多光束照明器) 和形成非均勻強(qiáng)度分布的光互連元件(例 如，高斯扇形展開(kāi)分束器)。,2024/3/10,4.4

21、光互連,目前光互連元件已廣泛的應(yīng)用于光學(xué)計(jì)算和平行處理，集成光學(xué)，光電開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)，以及機(jī)器人視覺(jué)等領(lǐng)域中。,2024/3/10,4.4 光互連,近年來(lái)，隨著“信息高速公路”和數(shù)字光學(xué)計(jì)算機(jī)不斷的發(fā)展，自由空間光互連引起人們極大的興趣。PS (Perfect Shuffle)變換作為光互連的基本變換網(wǎng)絡(luò)，可以實(shí)現(xiàn)任意變換，因此, 具有重要意義。,2024/3/10,4.4 光互連,國(guó)內(nèi)外學(xué)者提出多種不同實(shí)現(xiàn)PS 變換的方法：比如，透鏡

22、棱鏡法、衍射光柵法及全息光學(xué)元件法等。然而，實(shí)現(xiàn)這些方法不同程度的存在許多困難。我們提出用計(jì)算機(jī)制微閃耀光柵列陣實(shí)現(xiàn)PS變換網(wǎng)絡(luò)的新方法，具有如下特點(diǎn)：,2024/3/10,4.4 光互連,只用一個(gè)列陣元件，不需要空間濾波或復(fù)雜的光學(xué)裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)信號(hào)的分割、交錯(cuò)與倒序；信號(hào)空占比可任意調(diào)整；能量利用率極高；變換距離短；輸出象是正立的；極易實(shí)現(xiàn)元件微型化和多級(jí)互連,2024/3/10,4.4 光互連,2024/3/10,4.

23、5 靈巧掃描,2024/3/10,4.5 靈巧掃描,2024/3/10,4.5 靈巧掃描,由一對(duì)正負(fù)微透鏡列陣以共焦形式組合，當(dāng)其中之一作橫向移動(dòng)時(shí)，可對(duì)透過(guò)它們的激光束形成靈巧掃描。靈巧掃描器的參數(shù)可選擇如下：微透鏡直徑為200m，焦距為990m，相位等級(jí)數(shù)為8 ，衍射效率95 %，每個(gè)列陣包含約 60000個(gè)微透鏡，掃描視場(chǎng)角為11.5 o，掃描速率為 35Hz。,2024/3/10,4.6 激光光盤(pán)讀出頭,隨著激光技術(shù)、精

24、密機(jī)械技術(shù)和電子技術(shù)的發(fā)展，光、機(jī)、電三者相結(jié)合的產(chǎn)品已成為當(dāng)前高科技產(chǎn)業(yè)中最重要的產(chǎn)品之一。其中，激光掃描技術(shù)和信息存儲(chǔ)光盤(pán)技術(shù)的發(fā)展十分迅速。早在1989 年，激光條形碼掃描器、激光打印機(jī)、激光唱機(jī)的銷(xiāo)售量分別已達(dá)二十萬(wàn)臺(tái)、一百萬(wàn)臺(tái)和一千萬(wàn)臺(tái)。最近幾年，它們的銷(xiāo)售量在成倍的增長(zhǎng)。,2024/3/10,4.6 激光光盤(pán)讀出頭,二元光學(xué)元件作為這些器件中的核心元件-----掃描光學(xué)元件和讀出光學(xué)頭，具有大數(shù)值孔徑、重量輕、并可偏振方向

25、選擇的特性；具有廣闊的應(yīng)用前景。,2024/3/10,4.7 二元光學(xué)光纖列陣連接器,大多數(shù)光纖連接器都是端面對(duì)接式,例如ST(直插)型、BC(雙錐) 型、PC(物理接觸)型、FC(面接觸)型、SC(直聯(lián))型以及SMA( 通用標(biāo)準(zhǔn))型等。我們提出一種二元光學(xué)微透鏡列陣光纖連接器，,2024/3/10,4.7 二元光學(xué)光纖列陣連接器,由于透鏡之間的光束束寬遠(yuǎn)大于對(duì)接式連接光纖之間光束束寬，大大降低了連接器對(duì)接過(guò)程中對(duì)橫向偏移的敏感程

26、度；由于透鏡端面面積遠(yuǎn)大于光纖纖芯面積，使得通光表面污染的影響大為降低；可以采用在透鏡間注入折射率匹配液或者在透鏡另一表面刻蝕高頻光柵等 多種減反措施，有效消除菲涅爾反射；,2024/3/10,4.7 二元光學(xué)光纖列陣連接器,采用二元光學(xué)設(shè)計(jì)可以有效消除象差從而避免帶來(lái)附加損耗；可以采用模壓技術(shù)以便于滿(mǎn)足大規(guī)模生產(chǎn)要求，可以大大降低成本。,2024/3/10,4.7 二元光學(xué)光纖列陣連接器,,2024/3/10,4.8 多頭激

27、光劃片機(jī),利用二維Dammann光柵形成上百條平行光束,經(jīng)過(guò)反射、折射及微透鏡聚焦后，形成多頭激光束，對(duì)移動(dòng)的工件進(jìn)行劃片操作。（例如，用于太陽(yáng)電池的劃片切割，具有劃片速度快、切割損耗小、使用效率高的優(yōu)點(diǎn)。） 下圖為多頭激光劃片機(jī)原理圖,2024/3/10,4.8 多頭激光劃片機(jī),2024/3/10,4.9 半導(dǎo)體激光列陣合成器,2024/3/10,4.10 其它應(yīng)用,萊福槍上的夜視儀，具有可寬帶使用、大數(shù)值口徑、

28、攜帶方便、低成本和大量復(fù)制等特點(diǎn)；,2024/3/10,4.10 其它應(yīng)用,飛行員頭上的平視顯示儀，具有重量輕、光能損失小、單色顯示且顯示清晰等優(yōu)點(diǎn)；,2024/3/10,4.10 其它應(yīng)用,Damman光柵分束器，其光束利用率極高，各光束強(qiáng)度均勻性好。,2024/3/10,4.10 其它應(yīng)用,還可用于集成平面微光學(xué)系統(tǒng)中，靈活的控制光線傳輸?shù)倪^(guò)程 ；,2024/3/10,4.10 其它應(yīng)用,在慣性約束核聚變高功率激光系統(tǒng)中，用

29、隨機(jī)位相板來(lái)實(shí)現(xiàn)光束平滑處理。,2024/3/10,5．深蝕刻二元光學(xué)元件,二元光學(xué)形成時(shí)間之短、發(fā)展速度之快、應(yīng)用領(lǐng)域之廣，都是人們始料未及的。因此，二元光學(xué)在元件設(shè)計(jì)、制作技術(shù)、誤差控制、質(zhì)量檢測(cè)等方面都有許多課題需要研究解決。,2024/3/10,5．深蝕刻二元光學(xué)元件,為此，我們?cè)谀壳岸鈱W(xué)技術(shù)的基礎(chǔ)上，發(fā)展一種新穎的、蝕刻位相深度超過(guò)、具有高深寬比(aspect-ratio)的深蝕刻二元光學(xué)技術(shù)。 深蝕刻二元光學(xué)技術(shù)拓展了二

30、元光學(xué)更加廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，尤其在設(shè)計(jì)制作微小高能量密度元件方面有特殊用途;,2024/3/10,5.1 深蝕刻二元光學(xué)元件特性,探索性的系統(tǒng)研究了深蝕刻二元光學(xué)元件的衍射特性；提出了深蝕刻二元光學(xué)元件具有焦距縮短效應(yīng)、高相對(duì)孔徑、高能量密度、高深寬比的特性；,2024/3/10,5.1 深蝕刻二元光學(xué)元件特性,2024/3/10,5.1 深蝕刻二元光學(xué)元件特性,2024/3/10,5.2 深蝕刻二元光學(xué)元件制作誤差分析,提出了4 階二

31、元光學(xué)元件衍射效率與制作誤差之間的解析式；創(chuàng)建了“深蝕刻二元光學(xué)元件制作誤差模擬軟件”；建立了深蝕刻二元光學(xué)元件制作誤差的經(jīng)驗(yàn)公式；,2024/3/10,5.2 深蝕刻二元光學(xué)元件制作誤差分析,,2024/3/10,5.2 深蝕刻二元光學(xué)元件制作誤差分析,2024/3/10,5.3 深蝕刻二元光學(xué)元件應(yīng)用,利用深蝕刻理論和技術(shù)，在國(guó)內(nèi)首次設(shè)計(jì)并制作出用于準(zhǔn)分子激光照明系統(tǒng)中、具有結(jié)構(gòu)緊湊、光束均勻性好等優(yōu)良特性的深蝕刻二元光學(xué)均勻器

32、。 深蝕刻二元光學(xué)器件的研究工作目前已處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。,2024/3/10,5.3 深蝕刻二元光學(xué)元件應(yīng)用,2024/3/10,5.3 深蝕刻二元光學(xué)元件應(yīng)用,2024/3/10,6. 結(jié)束語(yǔ),二元光學(xué)及微光學(xué)技術(shù)是一門(mén)新興的綜合性高技術(shù)，具有光學(xué)元件少，尺寸小(直徑可在100mm左右)、制作成本低并能大量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。,2024/3/10,6. 結(jié)束語(yǔ),有廣闊的應(yīng)用前景:例如它可用于紅外照相機(jī)、內(nèi)窺鏡中;

33、激光打印機(jī)的掃描光學(xué)元件光盤(pán)唱機(jī)讀出光學(xué)頭通訊網(wǎng)絡(luò)的傳感器(聚焦元件)、連接器；,2024/3/10,6. 結(jié)束語(yǔ),微透鏡列陣機(jī)器人工視覺(jué)及微透鏡列陣導(dǎo)彈制導(dǎo)傳感器；眼球人工晶體替代元件，具有兼顧遠(yuǎn)近視場(chǎng)圖象功能；光計(jì)算的大容量互連。,2024/3/10,6. 結(jié)束語(yǔ),微光學(xué)的發(fā)展，還使光學(xué)元件的尺寸進(jìn)入微米、亞微米級(jí)領(lǐng)域，使人的認(rèn)識(shí)進(jìn)一步深入，使傳統(tǒng)光學(xué)及其技術(shù)發(fā)生巨大變革，這對(duì)光學(xué)領(lǐng)域特別是信息領(lǐng)域的發(fā)展將產(chǎn)生難以估量