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1、Y1D22032援旦大學碩士學位論文學撞代碼:學號:(專業(yè)學位)O11微米DR雕制程中對聚合物殘留物的研究院系(所):微電子研究院專業(yè):電子與通信工程10246043052108姓名:旌平指導教師:黃宜平教授;仇圣菜經(jīng)理完成日期:2006年lO胃8日復||人4#碩十畢業(yè)論文摘要聚合物是在干法刻蝕的過程當中產(chǎn)生的一種副產(chǎn)物,它的形成取決于刻蝕氣體、被刻蝕的材料、光刻膠、刻蝕停止層的材料等等。聚合物需要在干法刻蝕后續(xù)的濕法清洗工藝中去除干凈
2、,否則將造成缺陷,導致良率上的損失。研究表明011微米制程DRAM在字線溝槽刻蝕(以下統(tǒng)稱BitLineETcH)后,就出現(xiàn)了這種無法用正常濕法清洗工藝去除的聚臺物的殘留物,大小有一微米到十幾微米,覆蓋十幾根甚至幾十根字線,最終導致3%左右的良率損失。本論文針對O11微米DRAM產(chǎn)品中出現(xiàn)的聚合物殘留物,通過缺陷掃描(defectscan)、透射電了顯微鏡(TEM)、x射線能譜技術(shù)(ED)等方法對它產(chǎn)牛的原因及來源進行分析,發(fā)現(xiàn)如果省略
3、BitLineETcH這一步驟,聚合物殘留也隨之消失,這就證明了聚合物殘留來源于BitLineETcH。又通過對制作流程的分析,找出聚合物殘留產(chǎn)牛的原因是由于晶圓表面的poly阻擋層與BitLineETcH反應的緣故。針對這兩點設計了三個解決方案:一、改善清洗工藝:二、改善BitLineETcH的程式;二、玄除poly阻擋層。課題的研究重點放在去除聚合物殘留,每個方案分別設計了若干實驗。其中,改善清洗工藝嘗試了四種方法,分別是:用EKc
4、代替piranha(硫酸/過氧化氫/玄離了水)和scl(1號標準清洗液)、在piranha和scl前加HFDIP(稀釋氫氟酸腐蝕)使聚合物殘留暴露到表面、減少TInnerDIP(鍍鈦前氫氟酸腐蝕)的時間、BnLineasher(字線刻蝕后光刻膠灰化)的程式中使用H2/N2氣體。改善BitLineETcH程式也嘗試了三種方法:BitLineETcH使用cF4氣體并且清洗用EKc和EKcscl、在BitLineETcH的程式里面加額外的氧氣
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