ZnO-SiO2-Si基聲表面波生物傳感器基礎(chǔ)問(wèn)題研究.pdf

1、無(wú)線無(wú)源聲表面波生物傳感器具有精度高、集成度高、應(yīng)用范圍廣、適于大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn),一直以來(lái)是生物傳感器領(lǐng)域的重要內(nèi)容。論文討論了聲表面波生物傳感器的基本原理及其主要性能,簡(jiǎn)述了其生物固化膜的制備方法,并完成了聲表面波換能器的基本設(shè)計(jì)。
　　首先通過(guò)射頻磁控濺射法制備了ZnO/SiO2/Si基片?？刂茷R射時(shí)長(zhǎng)制得的基片氧化鋅薄膜厚度分別為200納米至2000納米之間。由FSEM的尺寸測(cè)量對(duì)這些樣品生長(zhǎng)速率進(jìn)行了定標(biāo),計(jì)算得到氧化鋅薄

2、膜的生長(zhǎng)速率為每分鐘10納米。
　　對(duì)制備所得的ZnO/SiO2/Si基片進(jìn)行性能檢測(cè)。將ZnO厚度為300納米和600納米的樣品進(jìn)行XRD和SEM檢測(cè)。通過(guò)XRD的測(cè)量可以觀察到各個(gè)樣品的c軸取向性并可以計(jì)算出樣品的氧化鋅晶粒尺寸及其他晶體參數(shù)。通過(guò)FSEM測(cè)量可以觀測(cè)到各個(gè)樣品氧化鋅薄膜的平整性、結(jié)晶質(zhì)量等性質(zhì)。本文著重討論了退火溫度對(duì)氧化鋅薄膜的c軸取向性、結(jié)晶尺寸和晶粒均勻度等方面的性能,并通過(guò)對(duì)比可以得到結(jié)論:退火溫度對(duì)