納米級電子束曝光系統(tǒng)用圖形發(fā)生器技術(shù)研究.pdf

1、納米級電子束曝光系統(tǒng)是微納加工的重要設(shè)備，圖形發(fā)生器是電子束曝光系統(tǒng)的核心部件，包括硬件和軟件兩部分。硬件設(shè)計吸納了近年來數(shù)字信號處理的最新成果，利用高性能數(shù)字信號處理器（DSP）將要曝光的單元圖形拆分成線條和點，然后通過優(yōu)化設(shè)計的數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，將數(shù)字量轉(zhuǎn)化成高精度的模擬量，驅(qū)動掃描電鏡的偏轉(zhuǎn)器，實現(xiàn)電子束的掃描。為此目的特構(gòu)建了方向和方向兩組數(shù)模轉(zhuǎn)換電路，每組包括1個16位主數(shù)模和3個16位乘法數(shù)模。通過圖形發(fā)生器可以對標(biāo)準(zhǔn)樣片進行圖

2、像采集，進行掃描場的線性畸變校正，包括掃描場增益、旋轉(zhuǎn)和位移校正。另外，圖形發(fā)生器還可以控制束閘的通斷。 配合精密定位工件臺和激光干涉儀，可以實現(xiàn)曝光場的拼接，拼接精度優(yōu)于。通過檢測芯片的標(biāo)記，還可以實現(xiàn)曝光圖形的套刻。 利用配套軟件既可以新建曝光圖形，也可以導(dǎo)入通用格式文件，例如和文件，進行曝光參數(shù)設(shè)置、圖形修正、圖形分割、鄰近效應(yīng)修正等工作，然后將曝光圖形數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成圖形發(fā)生器可以識別的文件，完成曝光圖形的準(zhǔn)備工作。圖