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1、分類號(hào)單位代碼學(xué)號(hào)爵‘產(chǎn)戶聲了六了碩士學(xué)位論文口’論文題目低能電子束曝光的。模擬研究作者姓專名任娃業(yè)電工理論與新技術(shù)指導(dǎo)教師姓名專業(yè)技術(shù)職務(wù)譚震宇教授年月日山東大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄摘要……,一,…………,……第一章引言,……,……電子束曝光技術(shù)發(fā)展概述……模擬計(jì)算方法概述……,……問題的提出和本文的主要工作……第二章電子與固體相互作用的原理……電子束曝光方法……,……電子在固體中的散射……彈性散射……非彈性散射……,……電子散射的物理模
2、型…,……,……、、…、、……、……彈性散射的物理模型……,……,非彈性散射的物理模型……,……第三章用。方法模擬低能電子在中的散射……物理模型的確定……,……,、,、……,二彈性散射的物理模型……,……非彈性散射的物理模型……,……電子在介質(zhì)中散射過程的。模擬……,……電子在單一元素介質(zhì)中散射的模擬……,……、、、……電子在多元介質(zhì)中散射的模擬……電子穿越不同介質(zhì)交界面的情況,……散射電子空間輸運(yùn)的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換……電子能量損失分布的計(jì)算…
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