HSGFET型O-,3-傳感器敏感特性及其測(cè)試系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、近年來(lái)臭氧在人類(lèi)的生活和生產(chǎn)中日益發(fā)揮重要的作用，人們對(duì)臭氧危害的認(rèn)識(shí)也日益提高，對(duì)臭氧(尤其是ppb范圍的低濃度臭氧)的監(jiān)測(cè)和控制已被提到日程上來(lái)。通過(guò)研究發(fā)現(xiàn)，利用懸浮柵結(jié)構(gòu)和功函數(shù)變化的方法研制的HSGFET型臭氧傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)低濃度臭氧的測(cè)量。此方法具有小型化、固態(tài)化、功耗低、靈敏度高和響應(yīng)速度快的特點(diǎn)，同時(shí)能夠在室溫下工作，為低濃度臭氧的測(cè)控提供了重要途徑。 本文系統(tǒng)分析了臭氧在敏感膜表面的單分子層與多分子層吸附模型

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