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文檔簡介
1、隨著臭氧越來越廣泛地被應用在各個領域和人們公害意識的提高,對臭氧的檢測和控制已經(jīng)提到日程上來.能夠在室溫下工作的低功耗、小型化、固態(tài)化的臭氧傳感器是當前研究的熱門方向,目前在這方面的研究還沒有非常完善的結果.但通過研究人們發(fā)現(xiàn)懸浮柵結構和功函數(shù)方法是實現(xiàn)上述要求的有效途徑.論文系統(tǒng)地分析了敏感膜功函數(shù)變化及引起功函數(shù)變化的機理,指出了懸浮柵結構對室溫下臭氧傳感器的重要性,提出了雙敏感膜結構,制作了具有雙敏感膜,檢測ppb范圍內(nèi)O<,3>
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