自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)圖像處理技術(shù)的研究.pdf

1、視覺自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是集成電路后封裝設(shè)備中的一項(xiàng)重要單元技術(shù)。視覺自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、CCD攝像器件、圖像處理軟件和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)等部分組成，其中圖像處理算法對(duì)視覺自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的精度起著決定性的作用。本文研究了相關(guān)的圖像處理算法，實(shí)現(xiàn)由粗到精的高精度視覺對(duì)準(zhǔn)定位，全文主要包括以下幾個(gè)方面的內(nèi)容： (1)根據(jù)機(jī)器視覺原理和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，建立了自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的構(gòu)架，實(shí)現(xiàn)圖像自動(dòng)采集，自動(dòng)定位的目的。 (2)根據(jù)

2、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)精度的需要，對(duì)CCD攝像機(jī)的比例系數(shù)、光學(xué)中心以及系統(tǒng)的像素轉(zhuǎn)換當(dāng)量等參數(shù)進(jìn)行了標(biāo)定。 (3)分析了定位標(biāo)記的作用和特征，將其分為兩類，一類是粗定位標(biāo)記，另一類為精定位標(biāo)記。同時(shí)，運(yùn)用一系列圖像處理技術(shù)，例如：灰度直方圖分析、圖像平滑、域值分割、有效區(qū)域提取(ROI)、邊緣提取等，將兩組定位標(biāo)記分別提取出來。 (4)結(jié)合圖像定位標(biāo)記的分類，運(yùn)用圖像匹配算法實(shí)現(xiàn)由粗到精的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)過程。首先，利用形心與

3、重心匹配算法找到粗定位標(biāo)記，實(shí)現(xiàn)粗定位；然后對(duì)粗定位后圖像進(jìn)行ROI提取，在ROI區(qū)域采用當(dāng)前視覺測(cè)量的一種較先進(jìn)的點(diǎn)模式匹配的方法實(shí)現(xiàn)精確定位。在實(shí)現(xiàn)精定位之前，為了有效突出定位標(biāo)記的特征，提高整個(gè)系統(tǒng)的定位精度和定位效率，運(yùn)用基于空間矩的亞像素邊緣提取方法，實(shí)現(xiàn)定位標(biāo)記邊緣的亞像素級(jí)跟蹤提取，再利用SUSAN角點(diǎn)提取的方法對(duì)亞像素級(jí)的邊緣進(jìn)行特征點(diǎn)的有效提取。 (5)運(yùn)用仿真分析的方法對(duì)邊緣提取的精度和匹配的精度進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分