新型蠕動式微細電火花加工裝置開發(fā)及實現(xiàn)研究.pdf

1、在現(xiàn)代工業(yè)中，各種微型機械、微機電系統(tǒng)的不斷涌現(xiàn)，出現(xiàn)了大量帶有微小孔和微三維結構的微小零件。電火花加工是一種非接觸式的、宏觀加工力很小的加工方式，這使其在微小孔加工及微三維結構制作方面顯示出了非常巨大的優(yōu)勢，而目前在用的大型微細電火花加工裝置存在資源浪費、移動使用不便等問題，因此需要開發(fā)出微小型的微細電火花加工裝置。因為該種裝置尺寸很小，就對驅動電極進給的主軸機構的設計提出了更高的要求，所以設計微進給、高精度、高頻響的主軸機構是開發(fā)微

2、小型微細電火花加工裝置的一個關鍵技術，具有重要的應用價值。 本文在深入研究國內外微小型電火花加工裝置成果的基礎上，提出了一種新型的蠕動式進給主軸機構，開發(fā)了整套的控制系統(tǒng)和電路，編寫了程序，建立了新型蠕動式微細電火花加工裝置，并進行了實驗研究，證明了該裝置可以有效地進行微細電火花加工。本文的主要工作如下： 1. 提出新型蠕動式微細電火花加工主軸機構，采用雙柔性鉸鏈夾持器、壓電陶瓷驅動器和碟形彈簧復位器等實現(xiàn)對微細電極的有

3、效夾持和進給，借助于有限元分析軟件ANSYS對主軸機構中的關鍵零件進行了設計，并對相關部件進行了運動測試。該裝置總體上采用了管式對稱結構，可以實現(xiàn)多個裝置并排或陣列加工，或者進行任意方位任意角度的微細電火花加工，目前已申請了國家發(fā)明專利并已公開，專利公開號：CN1695861。 2. 開發(fā)了整套裝置的控制系統(tǒng)和電路，主要包括單片機控制系統(tǒng)、放電間隙檢測電路、壓電陶瓷驅動電路、脈沖電源放電電路等。給出了系統(tǒng)電路圖，編寫了單片機控制