基于靜電感應(yīng)的微細(xì)電火花加工方法的研究.pdf

1、隨著對微小器件需求的增加及MEMS技術(shù)的發(fā)展，對微細(xì)電火花加工也提出了更高的要求，提高微細(xì)電火花加工的微細(xì)化能力成為不可研究者追求的一個目標(biāo)。放電凹坑的大小是決定微細(xì)電火花微細(xì)化的一個重要因素。要獲得更小的放電凹坑，必須減小單個脈沖的放電能量。在實(shí)際電火花加工過程中，微細(xì)電火花加工中一般采用的是RC脈沖電源，減小電容就能夠減小放電能量。但是由于配線之間、工具電極和工作臺之間、電極和工件之間存在分布電容，這就意味著分布電容決定著單脈沖的最

2、小放電能量及微細(xì)化的極限。
　　基于靜電感應(yīng)原理的微細(xì)電火花加工的方法能夠完全避免回路中分布電容的不利影響，它利用一個給電電極，通過靜電感應(yīng)以非接觸的方法對工具電極進(jìn)行供電，放電能量僅由給電電極和工具電極之間、及工具電極和工件之間形成的靜電電容來決定，與以往的由分布電容來決定最小極限放電能量的微細(xì)電火花加工相比，能夠?qū)崿F(xiàn)更加微細(xì)的加工。
　　本文基于靜電感應(yīng)的微細(xì)電火花加工的原理，建立基于靜電感應(yīng)的微細(xì)電火花加工放電回路的解