隧道式微加速度計信號處理電路的研究.pdf

1、論文對隧道式微加速度計的信號處理電路進行了系統(tǒng)詳細的研究，對采用PID方法實現(xiàn)閉環(huán)反饋系統(tǒng)的控制進行了探索性分析。 考慮到敏感頭結構對電路參數(shù)的影響，論文詳細介紹了隧道加速度計敏感頭及其接口電路的工作原理，重點分析了結構加工中隧尖高度、初始間距等關鍵結構參數(shù)對敏感頭測試效果的影響；對加工成形的敏感頭的結構參數(shù)和電學參數(shù)進行了測試；分析了敏感頭在大氣封裝和真空封裝下對電路設計的不同要求。 論文的關鍵內(nèi)容之一是設計信號處理電

2、路完成微弱隧道電流的采集和測試輸出。該部分詳細描述了整體電路工作原理，各電路模塊完成的主要功能及設計方法；在I-V轉(zhuǎn)換模塊，分析了不同轉(zhuǎn)換方法在穩(wěn)定偏置電壓和轉(zhuǎn)換精度方面的差異；通過比較所選放大裝置的各項性能參數(shù)為放大器件的選擇提供了理論依據(jù)；在電路板的設計和工藝方面，簡要講述了為使整體電路性能提升而采取的噪聲屏蔽、防止漏電流等措施。 對隧道加速度計在真空封裝下的反饋控制系統(tǒng)進行了詳細的建模和分析，為適應敏感元件采用真空封裝的情