微小零件微細(xì)電加工技術(shù)的研究.pdf

1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的飛速發(fā)展，超精、微細(xì)加工技術(shù)成為目前迅速發(fā)展、最富活力的加工技術(shù)，并且是現(xiàn)代制造技術(shù)的一個(gè)重要發(fā)展方向。微細(xì)電火花線切割加工技術(shù)是實(shí)現(xiàn)超精、微細(xì)加工行之有效的方法之一，以其獨(dú)特的加工方法及較高的性價(jià)比得到了迅速的發(fā)展，并在許多微型機(jī)械生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了重要的作用。
　　微齒輪是MEMS中一種重要的微機(jī)械傳動構(gòu)件，主要用于傳遞動力和運(yùn)動，具有極大的商業(yè)和應(yīng)用價(jià)值?；谖X輪和普通齒輪之間存在的區(qū)別，本文首先介

2、紹兩者在尺寸、加工方法和力學(xué)性能方面的差異，隨后建立微齒輪齒廓的漸開線簡化數(shù)學(xué)模型，并推導(dǎo)至二維空間的任意位置。為方便設(shè)計(jì)不同參數(shù)的微齒輪，其參數(shù)化的建模是必需的，同時(shí)在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)一個(gè)外圓尺寸為1.5mm的2K-H型微型行星輪系。
　　本文利用微細(xì)電火花線切割加工技術(shù)，進(jìn)行微小齒輪的加工工藝實(shí)驗(yàn)研究。針對開路電壓、伺服參考電壓系數(shù)、電容、電流、進(jìn)給速度和絲速等加工參數(shù)對微齒輪齒廓精度的影響進(jìn)行分析。在工藝實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)之上，初步提出