鋼鐵表面氮化硅改性新技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、鋼鐵表面的防護和改性歷來是非常重要的課題。近年來，材料研究者一直希望將氮化硅等高性能陶瓷結(jié)合在鋼鐵表面，并對此進行了大量的研究，取得了一定的進展。但至今尚未完全解決不同材料間由于熱膨脹系數(shù)差異較大造成的薄膜與基體熱脹不匹配、結(jié)合牢度不高、易脫落等問題。 為此，本文研究的目的是改進鋼鐵表面氮化硅薄膜生長技術(shù)，更好地解決以往研究中存在的熱脹不匹配等難點問題，降低工藝成本。目前，化學氣相沉積技術(shù)是制備高性能薄膜最為精細的方法，主要包括

2、熱化學氣相沉積(TCVD)、激光化學氣相沉積(LCVD)、等離子體化學氣相沉積(PECVD)等幾種。本文采用常壓熱化學氣相沉積(APTCVD)技術(shù)開展在鋼鐵表面沉積氮化硅薄膜的研究。 本文以硅烷作為生長氮化硅薄膜的硅源，高純硅烷可即時制備，實現(xiàn)了硅烷制備技術(shù)與薄膜沉積技術(shù)的聯(lián)合，從而可有效降低氮化硅薄膜沉積工藝的成本。 本文采用如下的工藝方案：先通過硅烷的熱分解在鋼基體表面沉積硅形成硅擴散膜層，再通過氨氣分解對硅膜層進行

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