共平面DGS結(jié)構(gòu)用于MEMS可重構(gòu)濾波技術(shù)研究.pdf

1、可重構(gòu)濾波器是雷達(dá)和現(xiàn)代多頻帶通信系統(tǒng)中的重要元件,MEMS可重構(gòu)濾波器克服了傳統(tǒng)可重構(gòu)濾波器的缺點(diǎn),具有低功耗、高隔離、低的插入損耗、體積小,以及可以實(shí)現(xiàn)各個(gè)通信部件的微型化和集成化等優(yōu)點(diǎn),可以提高信號(hào)處理速度和縮小整個(gè)雷達(dá)通信系統(tǒng)的功耗和體積,受到越來越廣泛的關(guān)注。缺陷接地結(jié)構(gòu)(defcted ground structure,簡稱DGS)是在電磁帶隙(EBG)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。它與電磁帶隙結(jié)構(gòu)一樣,使特定頻段內(nèi)的電磁波不能在

2、其中傳輸,有明顯的禁帶特性和慢波特性,本文將共平面DGS結(jié)構(gòu)用于MEMS可重構(gòu)濾波器的設(shè)計(jì),得到的MEMS濾波器的尺寸小,帶內(nèi)插損小,帶外抑制高,論文的主要工作有:
　　1.研究了共平面DGS結(jié)構(gòu),提出一種利用共平面DGS結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的MEMS低通濾波器,用高頻仿真軟件HFSS進(jìn)行了仿真、提取等效電路模型,分析結(jié)構(gòu)尺寸參數(shù)對(duì)MEMS低通濾波器特性的影響。
　　2.引入MEMS電容膜橋,設(shè)計(jì)了共平面DGS結(jié)構(gòu)的MEMS可重構(gòu)低通濾

3、波器,經(jīng)過仿真,得到的濾波器重構(gòu)前后的截止頻率為16.19GHz和19.71GHz,其帶內(nèi)插入損耗為1.18dB,帶外衰減可達(dá)40dB。
　　3.采用鋁硅膜橋表面微機(jī)械加工工藝,進(jìn)行了流片加工,對(duì)關(guān)鍵技術(shù)如腐蝕工藝、犧牲層工藝進(jìn)行重點(diǎn)研究,以保證器件的成功制作,根據(jù)DGS缺陷接地結(jié)構(gòu)的慢波特性以及MEMS小尺寸的特性,得到的可重構(gòu)低通濾波器尺寸大為減小,包括偏壓線在內(nèi)的尺寸為4.1mm×1.4mm。
　　4.初步測試結(jié)果得到