基于SIW技術(shù)的MEMS可重構(gòu)濾波器的研究.pdf

1、隨著無線通信技術(shù)的發(fā)展，頻率資源也日益緊張，各類電子器件向小型化、高集成度、低成本、大功率容量的方向不斷變化。高性能的微波濾波器是無線通信系統(tǒng)的關(guān)鍵器件，其具有小型化和大功率容量的特點，對于提升無線通信系統(tǒng)處理信息的能力有著重要的作用?；刹▽?dǎo)(SIW)技術(shù)是近幾年來國際上提出的一種新型的傳輸線結(jié)構(gòu)，它既具有傳統(tǒng)矩形波導(dǎo)功率容量大，插入損耗低，品質(zhì)因數(shù)高，抗干擾特性強的特點，同時也具有與微帶線等平面電路類似的體積小，易于與其他電路相

2、集成的優(yōu)點。
　　本文以基片集成波導(dǎo)為基本構(gòu)造，設(shè)計了低通高通濾波器級聯(lián)的超寬帶帶通濾波器和串聯(lián)SIW諧振腔的帶通濾波器，并對其進行了仿真優(yōu)化，該類濾波器的結(jié)構(gòu)新穎、性能良好，并具有獨特的設(shè)計方法。本文的創(chuàng)新之處在于將基片集成波導(dǎo)與MEMS技術(shù)結(jié)合起來進行了帶通濾波器的設(shè)計，并使用高阻硅作為濾波器的襯底，實現(xiàn)了濾波器的小型化以及微波化，將MEMS懸臂梁應(yīng)用到了帶通濾波器中實現(xiàn)濾波器的可重構(gòu)。
　　本文中提出并優(yōu)化了漸變錐形微

3、帶線-基片集成波導(dǎo)轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)，推導(dǎo)了濾波器設(shè)計相關(guān)的公式;緊下來在超寬帶帶通濾波器的設(shè)計中研究了改進型非對稱缺陷地結(jié)構(gòu)中每個物理量對低通濾波器影響，并用半?；刹▽?dǎo)設(shè)計了高通濾波器，并將兩種濾波器級聯(lián)組成本論文中的超寬帶帶通濾波器;緊接著設(shè)計了一種耦合諧振器帶通濾波器，并在ADS軟件中進行了建模與仿真進行可行性分析，最終在三維仿真軟件中HFSS中進行了建模優(yōu)化，得到了符合設(shè)計要求、性能優(yōu)異的帶通濾波器，在此基礎(chǔ)上對濾波器進行了可重構(gòu)的