硅基MEMS濾波器的特性研究.pdf

1、隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）的迅速發(fā)展，硅基MEMS濾波器的研究制作逐漸受到學(xué)者的高度重視，因?yàn)槠涮N(yùn)藏著巨大的市場(chǎng)潛力因此受到學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注。傳統(tǒng)的微波濾波器經(jīng)常因體積較大、不易集成而難以達(dá)到技術(shù)指標(biāo)的要求，單片式硅基MEMS濾波器具有體積小、重量輕、插損小、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，是實(shí)現(xiàn)RF系統(tǒng)小型化集成化的重要途徑。本論文中設(shè)計(jì)的硅基MEMS濾波器創(chuàng)新性主要體現(xiàn)在SIW技術(shù)與硅微技術(shù)的結(jié)合，采用ICP深刻蝕微機(jī)械通孔陣列技術(shù)形成硅基襯底

2、的等效金屬壁，SIR帶線上打入金屬通孔而實(shí)現(xiàn)諧振結(jié)構(gòu)，輸入輸出采用共面波導(dǎo)CPW形式，仿真結(jié)果表明此濾波器具有體積小、插損低、抑制較好及遠(yuǎn)寄生的濾波特性。
　　論文還設(shè)計(jì)了C波段孔耦合微帶帶通濾波器，介質(zhì)基板上層是微帶信號(hào)線下層是接地金屬層，由于感性通孔的數(shù)量和孔間距的不同可以形成不同長(zhǎng)度的諧振腔，文中分別設(shè)計(jì)了三階和四階帶通濾波器，依據(jù)E面膜片加載和感性通孔的等效分析理論對(duì)模型進(jìn)行了詳細(xì)分析，此模型的優(yōu)勢(shì)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工方便、