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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文電弧離子鍍深管內(nèi)壁硬膜沉積研究姓名:王文濤申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):材料加工工程指導(dǎo)教師:林國強(qiáng)20090601大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文StudyonDepositionofhard—filmsontheinternalwallofdeeptubesbyarcionplatingAbstractHardcoatingtechnologyhasreceivedmoreintentionsincethelongevit
2、yofthecurertoolscoatedwithTiNfilmsWaSsuccessfullyimprovedin1970s‰ughthedevelopmentofthelastseveraldecades,thehardoutersurfaceofthemembranetechnologyhasmaderemarkableprogress,greatlypromotethedevelopmentoftheindustrialaut
3、omation,agoodeconomicbenefitHowever。inpracticetoworkwithintheworkpiecesurfaceisnotlessthantheoutsidesurfaceoftheworkpieeefacesuch2usthecylinderengine,pipelinetransport,ionacceleratorcontrol,artillerytubeThesepartsoftenwa
4、llWearcorrosionandotherformsofdestruction,depositedinpipewallcorrosionresistance,abrasionresistance;Hi曲TemperatureinthefilmisofgreatsignificanceButrarelyseenindomesticandforeignpublicationsrelatedtechnicalreports,Therefo
5、rewallcoatingtechnologydevelopmentiSaveryurgenttaskOurworkgrouphavedonealotofworkontheresearchingoffilmsdepositionontheinternalwallofdeeptubesbyAIP(arcionplating)Inthisstudy,TiNfilmdepositiononinnerwallofthetubes(①502005
6、mmbartube,①503005mmopentube)WaScarriedout、杭t11AIPInordertoincreasethedepthofthefilminthedeeptube,wewillUSethehightemperaturepermanent—magnettocontroltheplasmatogointothetubeThenfilmthickness。XImSEM,hardnesserewerecarried
7、out‘111eresultsoffilmshardnessshowthatwhetherintheopentubeorinthebartubethesample’Snanohardnessisabove20GPaatanydepthAccordingtothestandardofHKhardnesslargerthan20GPathemicrohardnessshowsthat,theratioofdepthanddiameterco
8、uldbe20bythefilmsdepositionon也eintemalwallofdeeptubestechnologyAccordingtothefilmthicknessmeaSured,thedepositionrateCanbecalculated:itiS0450an/hat150mmdepthinthebartubebut10841am/hintheopentubeXRDresultsshowthatthefilmiS
9、pureTiNAndthepreferringorientationchangesfrom(111)to(220)whiletheincreaseofthetubedepthAttheendofthethesisthebestmethodoffilmsdepositiononinternalwallofdeeptube,WaSappliedonhardfilmdepositionontheintemalwallofthemoldfors
10、kinningAndfilmcoatedmold’Sservice1ireiSmuchlongerThemethodalSOwasappliedonthefilmofCrNdepositiononthePEMFC’SbipolarplateItmakestheintemalwallofthetrenchesinthebipolarplatealsocoatwithcompactanduniformfilmTheelectricalcon
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