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文檔簡介
1、電弧離子鍍膜過程中基體溫度對薄膜的組織結(jié)構(gòu)和性能有較大的影響,將脈沖偏壓引入電弧離子鍍膜技術(shù)來降低基體的溫度是近年來離子鍍技術(shù)的一個(gè)重要發(fā)展趨勢.對脈沖偏壓下基體溫度、薄膜組織性能及偏壓對其的影響等基礎(chǔ)性研究顯得必要且具有重要的現(xiàn)實(shí)意義.該文以沉積TiN薄膜為例,用熱電偶直接接觸法分別在AIP-1型和Bulat6型電弧離子沉積系統(tǒng)中測試直流偏壓和脈沖偏壓下基體的溫度.結(jié)果發(fā)現(xiàn),基體溫度受靶基間距、電弧蒸發(fā)功率、特別是基體偏壓的影響,利用
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