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1、作為很重要的P型半導(dǎo)體材料,Cr2O3和CuO都有著各自獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)。其中最值得關(guān)注的是它們對(duì)大多數(shù)還原性氣體,如乙醇,氨氣,一氧化碳等有敏感性。由于目前氣敏測(cè)試的主要方法為電阻式測(cè)量,而這種方法存在室溫靈敏度較低和需外接閉合電路才能測(cè)量,而這對(duì)于實(shí)際應(yīng)用來說,是一個(gè)致命的缺點(diǎn)。相比之下,表面光電壓技術(shù)則不存在上述問題,目前是研究半導(dǎo)體表面電子轉(zhuǎn)移過程強(qiáng)有力的工具之一,且對(duì)表面氣體吸附的靈敏度很高。本論文在合成和結(jié)構(gòu)表征Cr2O
2、3和CuO納米結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,利用表面光電壓技術(shù)研究其氣敏特性。 第二章中,首先利用水熱法合成了Cr2O3納米空心球并利用表面光電壓技術(shù)研究了樣品在酒精氣氛下的氣敏特性。表面光電壓實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)與傳統(tǒng)的塊體材料相比,具有納米空心球結(jié)構(gòu)的Cr2O3在酒精氣氛下其氣敏特性提高顯著。XPS表征證實(shí)Cr2O3納米空心球存在大量表面態(tài),這些表面態(tài)能吸附較多的氧(Oads-),一方面能夠和乙醇分子反應(yīng)釋放較多的電子,另一方面對(duì)光生電子一空穴對(duì)的分離
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