基于介觀壓阻效應(yīng)的GaAs基微機(jī)械陀螺的仿真與設(shè)計.pdf

1、隨著現(xiàn)代物理學(xué)、微電子、計算機(jī)和慣性技術(shù)的發(fā)展，微機(jī)械陀螺以其獨特的優(yōu)點成為慣性傳感器的一個發(fā)展方向，具有良好的應(yīng)用前景。但是微陀螺傳統(tǒng)的檢測方式在一定程度上局限了微陀螺小型化和靈敏高等要求，因此將新理論與新材料應(yīng)用于微機(jī)械陀螺就顯得非常迫切了。介觀壓阻效應(yīng)的提出就正好順應(yīng)了微陀螺發(fā)展的要求。 本文探索性的研究了一種新型的納電子機(jī)械(NEMS)--GaAs基微機(jī)械陀螺，該微陀螺基于GaAs/AIAs共振隧穿薄膜的介觀壓阻效應(yīng)，其

2、靈敏度有望比傳統(tǒng)檢測方式的微陀螺的靈敏度大大提高。通過利用Ansys有限元分析軟件對微陀螺的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真和分析，得出了微陀螺動力學(xué)的一些相關(guān)數(shù)據(jù)。然后利用介觀壓阻效應(yīng)，用Matlab軟件計算了基于介觀壓阻效應(yīng)的微陀螺的靈敏度，分析了相關(guān)重要因素對微陀螺性能的影響，主要研究內(nèi)容與成果如下； 1、通過論述四種傳統(tǒng)微陀螺的檢測方式的優(yōu)缺點后，指出將我國學(xué)者首先提出的一種新的理論--介觀壓阻效應(yīng)作為微機(jī)械陀螺的檢測機(jī)理，將會提高微陀螺