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文檔簡介
1、 本論文采用半導體激光器單模光纖組件發(fā)射的激光作為光線基準，有效地減少了激光器本身的光線漂移，為偏擺角、俯仰角的測量提供高精度和高穩(wěn)定性的光線基準。提出了一種簡單、實用的偏擺角、俯仰角測量方法，并從光路、電路等方面對測量系統(tǒng)進行了系統(tǒng)的分析與設計，采用半導體激光單模光纖組件作為光源，位置敏感探測器PSD作為探測器，實現(xiàn)對運動導軌行程中的偏擺角、俯仰角誤差測量。對影響測量的因素進行理論分析，.通過穩(wěn)定性實驗、重復性實驗以及與美國AP
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