RFID封裝線預綁定模塊的視覺與運動集成研究.pdf

1、集成電路（IC）是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)和信息社會的基礎，是改造和提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的核心技術。隨著全球信息化和網(wǎng)絡化的發(fā)展，IC產(chǎn)業(yè)的地位越來越重要。作為IC集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎性工作，IC 制造已成為制造業(yè)最重要的領域之一，是集國家利益、人類智慧和最新科技于一體的基礎性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。然目前的IC封裝設備主要還是由國外壟斷，因此盡快實現(xiàn)微電子設備的自主開發(fā)就成了我國的迫切任務。本課題受到國家自然科學基金重大項目“先進電子制造中的重要科學技術問題研究

2、”的資助，專門針對RFID倒裝芯片封裝設備中的預綁定模塊進行視覺系統(tǒng)和運動控制集成的研究。 1．對倒裝芯片封裝設備的功能進行劃分，詳細介紹了每個功能模塊的機構組成及實際作用，并提出模塊單元所必須達到的基本要求，最終將研究目標主要鎖定在其中最為復雜的模塊——預綁定模塊。 2．對預綁定模塊的視覺系統(tǒng)的各個部件進行具體設計，根據(jù)機構上的實際工作空間選擇攝像機、鏡頭、光源等。并根據(jù)標定的原理和現(xiàn)有的方法，對攝像機進行標定。

3、 3．對預綁定模塊的視覺定位算法進行了詳盡的研究。預綁定模塊中的視覺系統(tǒng)總共有三套：十字星標記的識別與定位，晶圓芯片的識別與定位，基板芯片的識別與定位。對每一個系統(tǒng)提出了與之相適應的圖像處理算法：對十字星通過直線檢測進行定位，對晶圓通過blob分析得到結果，對基板則采用基于FFT相位相關的模板匹配算法計算平移量與旋轉量。此外還對二值圖像的標記算法進行了改進，并結合運動控制設計了排序算法。全部視覺系統(tǒng)的識別與定位不僅要準確，更要有