2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、硅在氫氧化鉀溶液中呈各向異性腐蝕特性,利用此特性可以制作多種非球面、非對稱的微光學(xué)折射結(jié)構(gòu)。通過計算機(jī)對此特性進(jìn)行模擬與仿真,可以便捷高效地輸出各工藝階段所需的參數(shù)與數(shù)據(jù),并可以仿真出最終的結(jié)構(gòu)形貌。
   本文基于上述特性,在VC6.0環(huán)境下,建立了硅各向異性腐蝕的數(shù)學(xué)模型并加以實現(xiàn)。通過此模型,可以對多種球面、非球面連續(xù)輪廓(折射結(jié)構(gòu))進(jìn)行仿真并輸出數(shù)據(jù)和參數(shù)。結(jié)合OpenGL技術(shù),實現(xiàn)了三維輪廓的動態(tài)仿真。工藝實驗表明利用

2、此模型輸出的數(shù)據(jù)進(jìn)行器件制作,其實際結(jié)果與仿真結(jié)果基本一致,器件的表面粗糙度可以達(dá)到光學(xué)鏡面要求并具有良好的光學(xué)性能。
   利用此方法制作微結(jié)構(gòu),無論是在計算機(jī)仿真階段還是工藝階段,最重要的都是版圖數(shù)據(jù),這些數(shù)據(jù)是影響最終腐蝕出的器件輪廓的決定性因素。在計算機(jī)仿真中,利用貪心算法的思想設(shè)計了一套結(jié)構(gòu)生成算法用以計算和生成版圖。此方法較傳統(tǒng)方法而言,可以有效減小誤差。器件的設(shè)計流程是:(一)輸入期望的輪廓,設(shè)定一系列參數(shù),通過程

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