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文檔簡介
1、本課題通過對厚膜混合集成壓力傳感器的研制,探索并掌握一種適用于壓阻式壓力傳感器的集成技術(shù).本文先從半導(dǎo)體理論及電路原理方面論述了產(chǎn)生零點(diǎn)及靈敏度溫度漂移的原因,介紹了集成壓力傳感器的電路供電方式、溫度補(bǔ)償電路及信號放大電路的設(shè)計(jì)方法,給出了厚膜混合集成壓力傳感器的電路圖;分析、比較了幾種制作傳感器電路的工藝,列出了傳感器電路的加工工藝流程,并對主要工藝提出了具體的技術(shù)要求.厚膜混合集成壓力傳感器是在沈陽儀表科學(xué)研究院研制的.設(shè)計(jì)的傳感器
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