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文檔簡介
1、 本文采用聚合物驅(qū)體方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制備了鈮酸鋰(LiNbO3)鐵電薄膜。以Nb-檸檬酸為原料，替代溶膠-凝膠(Sol-Gel)工藝中金屬醇鹽，在水溶液制備前驅(qū)體溶膠，解決了金屬醇鹽易水解和價格昂貴等問題。 本文以Nb2O5為初始原料，不同羥基羧酸如檸檬酸、蘋果酸和酒石酸為配位劑與金屬離子配位，形成金屬-羥基羧酸配合物溶液；以Nb-檸檬酸配合物溶液為原料，乙二醇為酯化劑，采用聚合物前驅(qū)體法制備穩(wěn)定的
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