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文檔簡介
1、表面粗糙度是描述表面微觀形貌非常重要的一個參數(shù)，隨著機械加工自動化程度的提高，對表面粗糙度在線測量提出了越來越高的要求。傳統(tǒng)的觸針測量法，由于測量速度和測量條件的原因，不適于在線檢測。 隨著光電技術、激光技術和計算機技術的發(fā)展與廣泛應用，本文提出了以光散射為理論基礎的光散射特征值法應用在光盤表面粗糙度的測量中，通過對光散射模型的分析說明了散射帶的光能分布和粗糙度參數(shù)之間存在著一定的對應關系。從概率統(tǒng)計出發(fā)，以散射帶光能分布曲線的
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