GaAs陰極組件針孔疵病檢測技術(shù)研究.pdf

1、砷化鎵是化合物半導(dǎo)體中最重要、用途最廣泛的半導(dǎo)體材料之一。砷化鎵光電陰極的制備過程卻極為復(fù)雜，對制備工藝和條件要求都很高。 本課題主要研究砷化鎵基片表面針孔等缺陷的自動檢測，所設(shè)計的陰極組件針孔疵病檢測儀，用于對陰極組件進(jìn)臺前做最后檢測，以淘汰不合格產(chǎn)品，并可以存儲檢測的數(shù)據(jù)，用于對不同工藝和材料的情況作對比，研究改進(jìn)工藝。 本文闡述了運(yùn)用圖像采集卡獲取陰極組件表面顯微圖像的方法，討論了圖像分割的基本理論和方法，并在此基

2、礎(chǔ)上提出了一種通過對陰極組件的顯微圖像進(jìn)行數(shù)字圖像處理來檢測陰極組件表面瑕疵的方法，并通過編程實(shí)現(xiàn)了這種方法，驗證了其可行性。 為了克服顯微鏡的視場小，一次只能獲得陰極組件表面小范圍內(nèi)的細(xì)節(jié)的缺點(diǎn)，本文設(shè)計了一個掃描陰極組件表面的流程，通過控制和協(xié)調(diào)二維平移臺、自動調(diào)焦等裝置，實(shí)現(xiàn)對陰極組件表面的全自動掃描，完整地獲得陰極組件表面的全部有價值的細(xì)節(jié)。 本文介紹了數(shù)據(jù)庫的概念和關(guān)系型數(shù)據(jù)庫的特點(diǎn)，并根據(jù)檢測陰極組件表面所涉