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文檔簡介
1、隨著科技與社會的發(fā)展，精密、超精密光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用日益廣泛。光學(xué)元件表面疵病是影響光學(xué)系統(tǒng)外觀和性能的主要因素之一。光學(xué)元件表面疵病的高精度檢測是實現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)精密、超精密加工的關(guān)鍵之一。
本論文分析了現(xiàn)有光學(xué)元件表面疵病檢測技術(shù)國內(nèi)外研發(fā)現(xiàn)狀，針對現(xiàn)有檢測技術(shù)可測疵病數(shù)量少和檢測精度低的不足，基于光學(xué)元件表面散射成像技術(shù)和多光譜技術(shù)，提出了多光譜光學(xué)元件表面疵病檢測技術(shù)。
在此基礎(chǔ)上，設(shè)計和搭建了一套多光譜光學(xué)元件表面疵
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