基于微區(qū)LIBS的光學元件表面疵病成分檢測技術的研究.pdf

1、隨著科技進步與社會發(fā)展，精密光學元件、光學系統(tǒng)的應用日益廣泛。光學元件表面存在的疵病和微量雜質元素會導致光學元件損傷閾值降低，嚴重影響光學元件與光學系統(tǒng)的性能。有效檢測光學元件表面疵病元素成分和微量雜質分布，對優(yōu)化光學元件精密加工工藝、提高光學元件和光學系統(tǒng)的性能具有重要意義。
　　本論文分析了表面疵病檢測技術以及激光誘導擊穿光譜技術的國內外研究現(xiàn)狀，針對現(xiàn)有光學元件表面疵病元素成分檢測技術的不足，結合表面疵病檢測技術與激光誘導擊

2、穿光譜技術，設計搭建一套微區(qū)激光誘導擊穿光譜系統(tǒng)(micro-LIBS)，用以檢測光學元件表面尺寸大小為微米量級的疵病元素成分，以及光學元件微量雜質元素分布。
　　使用設計搭建的微區(qū)激光誘導擊穿光譜系統(tǒng)定性檢測光學元件表面直徑約為10μm的疵病，有效檢測出疵病中元素成分;使用系統(tǒng)定性檢測磁流變拋光的K9玻璃拋光表面，有效檢測出樣品表面殘留有微量拋光液元素成分，在此基礎上掃描檢測拋光液元素成分的分布，實驗結果表明微量拋光液元素成分不