兩相混合式步進電機位置伺服系統(tǒng)的研究.pdf

1、步進電機是半導(dǎo)體封裝設(shè)備中廣泛使用的執(zhí)行元件，在大多數(shù)情況下步進電機采用開環(huán)控制的方式運行，但是開環(huán)條件下并沒有充分發(fā)揮出來步進電機的性能。隨著半導(dǎo)體封裝行業(yè)的發(fā)展，要求其執(zhí)行器的速度越來越快，精度越來越高，步進電機已經(jīng)難以滿足要求了?，F(xiàn)有的基于永磁同步電機的伺服電機系統(tǒng)，性能優(yōu)良，工作穩(wěn)定，可以被用來取代步進電機，但是其缺點是成本高，難以大量使用。
　　本課題研究的目的是，在不大幅增加成本的前提下，采用閉環(huán)控制兩相混合式步進電機

2、的方法，在保持現(xiàn)有精度的前提下，提高步進電機帶動純慣性負(fù)載時的點對點運動的速度，實現(xiàn)高性能價格比的位置伺服系統(tǒng)。
　　本文采用理論分析和實驗相結(jié)合的方法，實驗驗證了兩相混合式步進電機的數(shù)學(xué)模型，并定性分析了在高轉(zhuǎn)速條件下兩相混合式步進電機數(shù)學(xué)模型的變化情況。除了選擇合適的控制算法提高速度外，本文還針對半導(dǎo)體封裝設(shè)備的實際情況，分析了影響在這類設(shè)備中使用的步進電機定位精度的主要因素，并提出了改進的辦法。
　　最終以飛利浦公司生