精細(xì)洗凈技術(shù)在TFT-LCD制造中的應(yīng)用研究.pdf

1、2000年以后國(guó)內(nèi)的TFT-LCD產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了高速發(fā)展的階段，竟?fàn)幰苍絹?lái)越激烈，提高產(chǎn)品合格率越來(lái)越成為T(mén)FT-LCD制造企業(yè)生存的關(guān)鍵。在TFT-LCD制造工程中各種污染物一直是造成產(chǎn)品不良的最重要原因，所以在生產(chǎn)過(guò)程中如何最大限度的降低各類(lèi)污染物的數(shù)量便成為眾多TFT-LCD制造廠商所面臨的一個(gè)難題。本文以工程生產(chǎn)實(shí)際為背景，通過(guò)參考大量中外資料，介紹和分析了TFT-LCD制造過(guò)程中各種精細(xì)洗凈技術(shù)工藝及其應(yīng)用，并從中研究出了幾種常用

2、的精細(xì)洗凈技術(shù)的最優(yōu)工藝條件，以及如何應(yīng)用各種精細(xì)洗凈技術(shù)以實(shí)現(xiàn)最佳洗凈效果的課題成果。 本文首先對(duì)TFT-LCD的制造工藝流程、精細(xì)洗凈技術(shù)在制造過(guò)程中的重要性、TFT-LCD制造中的主要污染源及其引起的不良進(jìn)行了介紹。其次對(duì)常用的精細(xì)洗凈技術(shù)的洗凈原理、洗凈對(duì)象以及使用時(shí)的注意事項(xiàng)進(jìn)行了詳細(xì)的分析和介紹，同時(shí)也對(duì)干燥冷卻技術(shù)和洗凈效果的評(píng)價(jià)方法也進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹。最后，為了得到最佳的洗凈效果，通過(guò)大量采集試驗(yàn)數(shù)據(jù)，然后進(jìn)行分析

3、，然后再試驗(yàn)、再分析……經(jīng)過(guò)幾個(gè)階段的大量數(shù)據(jù)采集和分析研究，取得了以下成果： ①得出了UV洗凈、Brush洗凈、高壓噴射洗凈（含CJ洗凈）和超聲波洗凈的最優(yōu)工藝條件，以及取得最優(yōu)工藝條件的方法和途徑； ②得出了大中小各種尺寸附著粒子的最佳洗凈手段：brush洗凈+高壓噴射洗凈+超聲波洗凈； ③得出了有機(jī)物的最佳洗凈手段：brush洗凈+化學(xué)藥液+高壓噴射洗凈+UV洗凈； ④得出了無(wú)機(jī)污染物（主要