紫外激光盲孔加工技術(shù)研究.pdf

1、近年來，隨著半導(dǎo)體電子產(chǎn)品朝著便攜式和小型化的方向發(fā)展，傳統(tǒng)的鉆孔加工方式已不能滿足微孔，尤其是微盲孔的加工要求。而激光鉆孔具有效率高和可加工盲孔等優(yōu)點，得到了電子工業(yè)等領(lǐng)域的廣泛重視和研究。本文在實驗室自主設(shè)計開發(fā)的紫外微加工工藝實驗平臺上，對柔性線路板的紫外激光盲孔加工技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)研究，主要研究內(nèi)容和成果如下：
　　 本文闡述了紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)的作用、設(shè)計思路以及紫外光學(xué)器件的選取原則。紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)由紫外擴束鏡、光

2、闌、紫外反射鏡、掃描振鏡及紫外遠(yuǎn)心聚焦透鏡五個部分組成。
　　 分析了紫外激光與柔性線路板相互作用的機理。采用波長為355nm的脈沖紫外激光器和紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)等部件組成的實驗平臺對聚酰亞胺和銅箔進(jìn)行了定點脈沖鉆孔的實驗。系統(tǒng)的研究了激光功率、激光頻率和加工次數(shù)等工藝參數(shù)對盲孔入口質(zhì)量、入口孔徑以及孔深尺寸的影響規(guī)律，并提出了一種定點-同心圓復(fù)合鉆孔的新工藝方法，用以改善盲孔的加工質(zhì)量。
　　 模擬和分析了單脈沖紫外激

3、光分別作用于銅箔和聚酰亞胺時的刻蝕深度。在此基礎(chǔ)上，采用定點-同心圓復(fù)合鉆孔的創(chuàng)新工藝方式，結(jié)合定點脈沖鉆孔實驗時總結(jié)的部分工藝參數(shù)，在四層柔性線路板上進(jìn)行了一階盲孔的加工實驗，并系統(tǒng)研究了激光功率、激光頻率、掃描間距、光斑直徑、光斑離焦量、鉆孔延時、開關(guān)光延時和掃描速度等參數(shù)對盲孔加工質(zhì)量的影響規(guī)律。通過對工藝參數(shù)的優(yōu)化，獲得了入口與孔底形貌良好、錐度小和粗糙度低的一階和多階盲孔。
　　 最后，采用優(yōu)化后的工藝參數(shù)對整塊柔性線