飛秒激光并行微加工技術(shù)研究.pdf

1、飛秒激光微加工技術(shù)與傳統(tǒng)的微加工技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)勢：飛秒激光脈沖持續(xù)時間超短，加工時熱影響極小，提高了加工質(zhì)量；超強的峰值功率可以激發(fā)材料的雙光子/多光子吸收效應(yīng)，使其加工分辨率可以突破衍射極限，提高了加工精度；而且飛秒激光可以深入透明材料內(nèi)部進行加工，具備加工復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)的能力。因此，飛秒激光微加工被廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工、微電子、光通信、光信息和生命科學(xué)等領(lǐng)域。
　　 隨著飛秒激光微加工工藝的不斷發(fā)展，人們發(fā)現(xiàn)，橫向逐點掃描

2、法加工區(qū)域不對稱和加工效率不高是比較突出的兩個問題。本論文針對這兩個問題，在前人工作的基礎(chǔ)上，進行了研究。
　　 1. 通過在聚焦物鏡前增加預(yù)聚焦透鏡的方法對橫向逐點掃描法進行改進，對改進前后所加工波導(dǎo)的橫截面對稱性和導(dǎo)光特性進行對比，對改進效果進行了研究。
　　 2. 發(fā)展了同一層面上及不同層面上并行微加工方法，搭建了并行微加工系統(tǒng)，在硅玻璃中寫入微結(jié)構(gòu)，研究了幾個常用參數(shù)對兩種并行微加工結(jié)果的影響，對兩種并行微加工的