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文檔簡(jiǎn)介
1、本文以半導(dǎo)體設(shè)備底座主要工藝方案和工藝參數(shù)為研究手段,以提高半導(dǎo)體設(shè)備底座質(zhì)量、降低產(chǎn)品報(bào)廢率為研究目標(biāo),在傳統(tǒng)工藝的基礎(chǔ)上,通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究確定了冒口、冷鐵等關(guān)鍵工藝,優(yōu)化了鑄造工藝,保證半導(dǎo)體設(shè)備底座質(zhì)量滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)要求;設(shè)計(jì)了復(fù)雜半導(dǎo)體設(shè)備底座的鑄造工藝規(guī)范。通過(guò)上述工藝研究,辦證產(chǎn)品質(zhì)量,各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到客戶(hù)要求。主要系統(tǒng)地分析了砂鑄工藝中常見(jiàn)的技術(shù)與質(zhì)量問(wèn)題,并對(duì)其產(chǎn)生問(wèn)題的原因提出了相應(yīng)的解決方法并加以實(shí)現(xiàn)。
本文的研究和
2、分析主要從以下幾個(gè)方面進(jìn)行:
(1)砂鑄的形成與結(jié)構(gòu):首先從金屬?zèng)_型與影響因素的關(guān)系,以鑄件的溫度場(chǎng)及金屬凝固的不同方式,合金的收縮及影響因素,展開(kāi)鑄造工藝的分析。
(2)闡述了砂鑄工藝流程,通過(guò)實(shí)際工藝步驟和特點(diǎn),分析了缺陷的成型機(jī)理和產(chǎn)生過(guò)程。特別針對(duì)主要常見(jiàn)的缺陷縮孔和松孔,夾渣等缺陷的形成過(guò)程和預(yù)防措施詳細(xì)的分析和討論。
(3)進(jìn)一步詳細(xì)地研究半導(dǎo)體設(shè)備底座的砂鑄鑄造工藝,用過(guò)程控制統(tǒng)計(jì)
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