聲表面波氣體傳感器的研究及其檢測系統(tǒng)開發(fā).pdf

1、聲表面波(Surface Acoutstic wave,SAW)氣體傳感技術(shù)在傳感領(lǐng)域?qū)儆谛滦偷恼n題,它結(jié)合了電子技術(shù)、晶體波動理論、半導體制造工藝、檢測技術(shù)等科學,是一種高精度高檢測速度的傳感技術(shù)。它同時具有抗電磁干擾、能夠在惡劣環(huán)境下工作的優(yōu)勢,因此在軍事和民用領(lǐng)域均得到廣泛應(yīng)用。隨著該項技術(shù)不斷發(fā)展,聲表面波器件已經(jīng)達到便攜化、集成化、無線化的要求,加之其成本較低,已經(jīng)在環(huán)保、安檢等方面發(fā)揮了較大作用。
　　 本論文主要基

2、于國家自然科學基金資助項目:新型多通道聲表面波氣體傳感器研究(60572018)和(天津)市科技發(fā)展計劃一科技攻關(guān)項目:多通道聲表面波化學傳感器的研制(05YFGPGX04900)等項目展開,對聲表面波傳感技術(shù)進行研究,并對聲表面波傳感系統(tǒng)進行搭建。本文主要討論了以下方面內(nèi)容:
　　 1、介紹了聲表面波傳感技術(shù)的理論基礎(chǔ)。按照功能分別介紹了聲表面波在不同參數(shù)的基底中傳播的特性,研究了叉指換能器的設(shè)計指標對聲表面波的影響,分析了不

3、同材料和性質(zhì)的敏感涂覆膜在聲表面波傳播過程中產(chǎn)生的作用。最終根據(jù)以上理論對傳感器器件進行了設(shè)計和制作。
　　 2、設(shè)計并研制了傳感器的電路。其中包括用于激發(fā)聲表面波的驅(qū)動電路部分和檢測輸出波形的檢測電路。文中首次運用單片機系統(tǒng)設(shè)計了對多通道聲表面波氣體傳感器的差頻檢測,實現(xiàn)了器件的集成化、小型化。
　　 3、進行多種聲表面波氣體傳感實驗及實驗分析,用所研制的幾種不同頻率的鈮酸鋰和石英基底的聲表面波器件,采用和設(shè)計酞菁酮(