基于微水導激光加工技術的研究.pdf

1、微水導激光加工技術是一種新的復合加工技術，與普通激光加工相比較，具有加工距離長、熱影響區(qū)小、加工效率高、工件冷卻效果好和切縫干凈利落等優(yōu)勢，近年來越來越受到國內(nèi)外學者的關注。
　　本文首先對水束的穩(wěn)定性進行了理論研究，為試驗中水束加工長度的合理選擇提供了依據(jù)。通過對微水導激光耦合對中機理的研究，得出了激光焦點經(jīng)過玻璃層與水層后漂移的距離公式。
　　本文利用MATLABGUI開發(fā)了分析激光束與水束耦合對中的軟件，采用該軟件能夠

2、準確地計算出激光束和水束的中心位置，從而實現(xiàn)激光束與水束的精確耦合。對激光束與水束的幾種耦合誤差進行了分析，通過計算發(fā)現(xiàn)橫向偏移誤差對耦合效率的影響最大，角度偏移誤差對耦合效率的影響較小。
　　最后采用改進的微水導激光加工試驗系統(tǒng)對硅片（底層鍍有l(wèi)ow-k材料）和不銹鋼（1Cr18Ni9Ti）進行了加工試驗研究，獲得了激光加工參數(shù)和水射流參數(shù)對加工效率、加工縫寬及加工質(zhì)量的影響規(guī)律。此外還進行了常規(guī)激光加工與微水導激光加工對比性試