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文檔簡介
1、該文研究了兩種與微加工工藝相結(jié)合的微傳感器陣列——用于液態(tài)成分分析的離子圖象微傳感器陣列和用于檢測細胞生理活動的場效應(yīng)管細胞傳感器.為了實現(xiàn)微傳感器的自動進樣,我們設(shè)計了一種微泵,將進樣系統(tǒng)和反應(yīng)腔體相結(jié)合,采用有限元分析軟件ANSYS對微傳感器的動力學(xué)特性進行進行了靜力場、動力場和流體場的綜合分析,模擬了這些微結(jié)構(gòu)器件的工作狀況,優(yōu)化了該傳感器的設(shè)計.該文采用傳統(tǒng)IC工藝方法設(shè)計并制備了場效應(yīng)管陣列,用化學(xué)方法(涂附多聚鳥氨酸和層粘素
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