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1、電阻抗成像技術(shù)(EIT:Electrical Impedance Tomography)是近年來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新穎的圖像重構(gòu)技術(shù),用于反映物體內(nèi)部電阻率或電容率的分布及其變化,通過(guò)在物體表面施加電流并進(jìn)行邊界電壓測(cè)量,將測(cè)量數(shù)據(jù)通過(guò)成像軟件重構(gòu)出獲得物體內(nèi)部電阻率或電容率的分布圖像,反映物體內(nèi)部電參數(shù)變化。目前EIT技術(shù)主要應(yīng)用于醫(yī)療診斷。
微機(jī)電(MEMS)傳感器是當(dāng)代發(fā)展最為迅速的傳感器之一,基于EIT技術(shù)的傳感器及其
2、信號(hào)處理研究提出了一種新的傳感方法。新的傳感器和傳感方法的研究為MEMS傳感器的發(fā)展與應(yīng)用開拓了廣泛的空間。
本文研究目標(biāo)是將EIT技術(shù)應(yīng)用到MEMS傳感之中,課題的主要任務(wù)是完成基于EIT技術(shù)的MEMS傳感器電流激勵(lì)和電壓測(cè)量方式的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)硬件和軟件設(shè)計(jì)。
本文首先對(duì)用于工業(yè)控制和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的EIT系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析,對(duì)電流激勵(lì)和電壓測(cè)量數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的基本組成進(jìn)行了研究。在分析和研究的基礎(chǔ)上,建立了基于EIT技術(shù)的
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