OPC與SPC集成技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的應(yīng)用.pdf

1、隨著社會(huì)的進(jìn)步和企業(yè)之間競(jìng)爭(zhēng)的不斷加劇，產(chǎn)品質(zhì)量關(guān)系著企業(yè)的成敗。SPC即統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(Statistical Process Control)是質(zhì)量控制的一種重要工具，其系統(tǒng)主要是指應(yīng)用統(tǒng)計(jì)分析技術(shù)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，科學(xué)的區(qū)分出生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品質(zhì)量的隨機(jī)波動(dòng)與異常波動(dòng)，從而對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的異常趨勢(shì)提出預(yù)警，以便生產(chǎn)管理人員及時(shí)采取措施，從而達(dá)到提高和控制質(zhì)量的目的。通過(guò)在企業(yè)中實(shí)施SPC，實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品穩(wěn)定性的實(shí)時(shí)監(jiān)控和預(yù)測(cè)，從而達(dá)到發(fā)現(xiàn)

2、異常、及時(shí)改進(jìn)、減少制造成本、降低廢品、改善總體設(shè)備效能、提高產(chǎn)品合格率及產(chǎn)品效能等作用。對(duì)企業(yè)的質(zhì)量控制有著至關(guān)重要的作用。 但在實(shí)施SPC系統(tǒng)時(shí)數(shù)據(jù)采集無(wú)法滿(mǎn)足現(xiàn)代企業(yè)的需要。一方面，控制和檢測(cè)儀器繁多，SPC系統(tǒng)與它們之間，缺乏統(tǒng)一的連接標(biāo)準(zhǔn)，使得SPC系統(tǒng)往往需要供應(yīng)商為硬件設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)用的驅(qū)動(dòng)程序，這樣一旦硬件設(shè)備升級(jí)換代，就需要對(duì)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)程序進(jìn)行更改，增加了系統(tǒng)的維護(hù)費(fèi)用。 另一方面，存在著底層數(shù)據(jù)如何與其它

3、計(jì)算機(jī)進(jìn)行信息溝通和傳遞的問(wèn)題。由于生產(chǎn)測(cè)試設(shè)備是不同廠(chǎng)商開(kāi)發(fā)的，底層數(shù)據(jù)與計(jì)算機(jī)之間缺乏有效的通信接口，因此通信規(guī)范問(wèn)題成為了制約SPC系統(tǒng)的瓶頸-“信息孤島”。而OPC技術(shù)的出現(xiàn)解決了上述問(wèn)題。 本文結(jié)合了飛利浦半導(dǎo)體有限公司的實(shí)際情況。首先，介紹了針對(duì)于半導(dǎo)體芯片的測(cè)試數(shù)據(jù)，如何實(shí)施SPC的過(guò)程，通過(guò)對(duì)實(shí)際情況的分析和研究確定了B/S架構(gòu)的SPC分析系統(tǒng)，并利用OWC、ASP和．ADO等關(guān)鍵技術(shù)成功的構(gòu)建出了SPC分析系統(tǒng)

4、。然后，闡述了OPC技術(shù)的規(guī)范和接口，結(jié)合實(shí)際要求，開(kāi)發(fā)出了OPC客戶(hù)端系統(tǒng)。最后，通過(guò)數(shù)據(jù)庫(kù)和OPC服務(wù)器選型工作，成功地將SPC與OPC技術(shù)結(jié)合在一起。實(shí)現(xiàn)了SPC與OPC在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的集成。 文中提出的OPC技術(shù)與SPC技術(shù)的集成技術(shù)，是先進(jìn)自動(dòng)化測(cè)試技術(shù)與質(zhì)量控制的完美結(jié)合，尤其是基于數(shù)據(jù)庫(kù)的SPC系統(tǒng)，它以數(shù)據(jù)庫(kù)形式記錄存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)共享，具有良好的系統(tǒng)性。再結(jié)合OPC數(shù)據(jù)采集，實(shí)現(xiàn)“實(shí)時(shí)監(jiān)控”過(guò)程，可動(dòng)態(tài)了解當(dāng)