擠塑平模頭拋光路徑與控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著微電子技術(shù)和信息技術(shù)的飛速發(fā)展，對各種塑性薄膜材料的加工要求越來越高，如何高效地獲得塑性薄膜材料超平滑無損傷表面已成為超精密拋光加工技術(shù)的研究方向，目前國產(chǎn)高檔薄膜擠塑生產(chǎn)設(shè)備在控制精度、高速性、可靠性、成套性等方面與進(jìn)口設(shè)備差距較大，因此以擠塑平模頭的自動化拋光為研究對象，以拋光技術(shù)、工藝研究為切入點(diǎn)，力求為研發(fā)出自主知識產(chǎn)權(quán)的擠塑平模頭自動化拋光設(shè)備打下基礎(chǔ)。 本文根據(jù)超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)要求，與現(xiàn)有的拋光機(jī)進(jìn)行對比，我

2、們提出了一種通過控制平模頭在XY方向的運(yùn)動和模頭自身轉(zhuǎn)動來實(shí)現(xiàn)對大尺寸工件表面進(jìn)行加工的方法。建立相應(yīng)的控制法則對模頭在XY方向上的運(yùn)動速度和自身轉(zhuǎn)速進(jìn)行精確控制。對工件表面的測量作了簡單的規(guī)劃。 具體研究拋光路徑對材料表面去除率及局部平整度的影響。提出了三種分形路徑，通過電腦模擬分形得知，三種分形路徑在加工材料的局部平整度方面優(yōu)于一般CMP路徑及行星式機(jī)構(gòu)路徑，尤其是在加工大尺寸面積工件的情況下優(yōu)越性更為明顯。 根據(jù)平