2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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1、硅晶片摻雜用固態(tài)磷擴散源是一種片狀的、常溫下性能穩(wěn)定、在高溫下能分解并穩(wěn)定釋放出Pz05的功能陶瓷材料。本文采用溶膠-凝膠法合成了LaP5O14粉體,并以該粉體為原料,通過常壓燒結制備了硅晶片摻雜用固態(tài)磷擴散源片。采用DSC-TG、DTA-TG、XRD、SEM等測試手段對試驗中的樣品進行表征,得到了以下結論:
　　 在800℃保溫5h的煅燒制度下,合成了以柱狀結構LaP5O14為主品相的粉體,晶體尺寸為10gm；LaP5O14粉

2、體能夠在850℃分解并釋均勻放出P2O5,失重量與時間近似于線性關系,粉體在850℃保溫5h的失重量與LaP5O14含量成正比。同時研究表明,隨著煅燒溫度的提高,LaP5O14的含量呈現(xiàn)先增加后減少的趨勢,晶體尺寸先增大后變?。浑S著保溫時間的延長,LaP5O14含量增加,晶體尺寸增大。
　　 以LaP5O14粉體為原料加入磷酸鹽玻璃作為燒結助劑,在900℃保溫1h的燒結制度下制備了磷擴散源片,隨著燒結溫度的提高,磷擴散源樣品中L

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