太陽能級多晶硅定向凝固過程的數(shù)值模擬.pdf

1、多晶硅被譽(yù)為“微電子大廈的基石”，是跨化工、冶金、機(jī)械、電子等多學(xué)科、多領(lǐng)域的高新技術(shù)產(chǎn)品，是半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路和太陽能產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)原材料，具有投資規(guī)模大、科技含量高、產(chǎn)業(yè)鏈長等特點(diǎn)，經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益都十分顯著。
　　 制備多晶硅主要采用西門子法，經(jīng)過三代發(fā)展，技術(shù)較成熟，但它生產(chǎn)流程長、能耗高、污染大。冶金法是近十幾年發(fā)展起來的制備多晶硅的方法，它具有投資小、生產(chǎn)流程簡單等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)界認(rèn)為是最有可能替代西門子法的一種方

2、法，但這種技術(shù)不成熟。
　　 本研究的目的是發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的能耗污染相對小的冶金法制備太陽能級多晶硅新技術(shù)。由于多品硅制備工藝試驗(yàn)難度大、周期長、費(fèi)用高，有風(fēng)險(xiǎn)，數(shù)值模擬是一種廉價(jià)有效的方法，它對多品硅生產(chǎn)技術(shù)起到了越來越重要的指導(dǎo)作用。
　　 本文綜合評述近年來太陽能級多晶硅定向凝固技術(shù)的研究進(jìn)展，根據(jù)定向凝固的理論，對目前的主要幾種定向凝固的方法進(jìn)行了比較，指出了它們的優(yōu)缺點(diǎn)；計(jì)算了相變過程的焓；在參閱目前定向