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文檔簡介
1、本文采用Sol-Gel工藝,探索并研究了不同熱處理方式和終處理溫度對制備c取向性PLZT/YBCO膜結構的影響,其結果如下:
(1)通過探索薄膜熱處理工藝,成功運用溶膠凝膠法在LAO襯底上制備了c軸取向的YBCO和在其上外延c軸取向的PLZT鐵電薄膜,形成鐵電/超導異質膜結構。確定運用快速熱處理方法以30℃/s的升溫速度升到650℃,并在這個溫度下保溫20分鐘后隨爐冷卻至室溫的熱處理工藝為最優(yōu)工藝。所制備PLZT/YBCO膜結
2、構中PLZT薄膜在300K、25V測試條件下的剩余極化值為23.226μC/cm2,矯頑場約為78KV/cm,并且在經(jīng)過109極化翻轉后剩余極化值并沒有下降,展現(xiàn)出良好的抗疲勞性能;室溫下5V的漏電流約為90μA/cm2;25V的漏電流約為50000μA/cm2,滿足于鐵電薄膜在實際應用中的要求。
(2)鐵電材料在25V的條件下,溫度由300K降至60K時剩余極化值變化較小,只從300K時的23.226μC/cm2下降到60K
3、時的20.24μ C/cm2,只降低了2.986μ C/cm2,而在這兩個溫度端點300K、60K上的矯頑場分別為:78KV/cm、184.5KV/cm,上升了106.5KV/cm,60K時的電場相比300K時上升了236.54%。
(3)漏電行為非常依賴外部的測試環(huán)境:當測試電壓(±25V)一定時,隨著溫度的降低,漏電流在劇烈的下降,250K時漏電流約有18000μA/cm2,當溫度下降到90K左右時,溫度對于漏電行為的貢獻
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